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中科微電子 晶圓下片機XP-8
- 品牌:中科微電子
- 型號: XP-8
- 產地:河北 邯鄲
- 供應商報價:面議
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河北中科微電子有限公司
更新時間:2025-02-16 15:59:57
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銷售范圍售全國
入駐年限第3年
營業執照已審核
- 同類產品晶圓下片機(1件)
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產品特點
- 一、設備概況
1.1應用領域: 適用于晶圓拋光后, 陶瓷盤上晶圓實現無接觸式下片。
1.2名稱: 無接觸式晶圓下片機
1.3型號: XP-8
1.4尺寸: 長 1190mm*寬 600mm*高 1120mm
1.5晶圓規格: 2-6 英寸 詳細介紹
二、主要技術參數
項目
主要性能指標和參數
加工尺寸
2-6 英寸圓片
陶瓷盤直徑
485mm(不同尺寸盤, 需更換不同夾具)
陶瓷盤工作臺數量(個)
1
下片工位
2
單片下片時間
4寸 30秒/每片
單次下片數
1片
Equipment Dependent Update (%; Average)
95%
供水
大于0.3Mpa, 管接口 1/2(內螺紋)
供氣
0.25-0.3Mpa, 管接口Φ10mm
管路流量
25L/Min
單片用水
2.5-4L/片
溢流槽容積
46L(噴淋水會直接到溢流槽,實現循環)
氮氣壓力
0.25-0.3Mpa,氮氣管接口3/8”
排水管
40mm 圓管 PP 管
控制系統
可編程控制器
顯示
4.3寸觸摸屏
電源
AC220V
整機功率
2KW
外型尺寸(深*寬*高)mm
長 1190mm*寬 600mm*高 1120mm
三、售后服務及培訓
3.1技術培訓
設備試生產運行前,賣方負責培訓買方相關操作和維修人員,內容包括設備操作維護、故障的分析和處理。
3.2售后服務
質保期內設備如發生故障,在得到買方通知后 4 個小時給答復,24 小時內賣方派有經驗的工程師到現場進行維修。
賣方對設備提供終生的免費技術支持,隨時處理、解答買方提出的技術問題。
質保期內每年派出 1~2 名相關技術人員到廠作指導及進行相應維護。
技術培訓和售后服務期間賣方人員的費用由賣方承擔。
四、設備驗收
4.1設備交貨期見商務合同
4.2交貨方式
?設備在買方的施工現場安裝調試完畢、連續試生產正常運行 30 日后,驗收合格整體交貨。
設備到貨開箱前賣方應提前3天通知買方,由買方、賣方和監理共同進行設備的初驗。
賣方在設備包裝發貨前10天通知買方到賣方制造現場驗收,經買方驗收人員驗收合格簽字后確定發貨時間;設備驗收時須提供相關驗收資料,但不作為設備的結束驗收。