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中科微電子 晶圓甩干機CSM870S
- 品牌:中科微電子
- 型號: CSM870S
- 產(chǎn)地:河北 邯鄲
- 供應(yīng)商報價:面議
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河北中科微電子有限公司
更新時間:2025-02-16 15:59:57
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銷售范圍售全國
入駐年限第3年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品晶圓甩干機(5件)
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產(chǎn)品特點
- 一、設(shè)備概況
1.1應(yīng)用領(lǐng)域:晶圓甩干機是高潔凈度沖洗甩干設(shè)備, 具有高潔凈沖洗,高速甩干,快速烘干,效率高的特點,不同晶圓尺寸,可通過快速更換轉(zhuǎn)子來實現(xiàn)。是濕法清洗工藝的主要設(shè)備,設(shè)備本身有單腔室和雙腔室兩種結(jié)構(gòu),體型小運行平穩(wěn)。其主要用于2-8英寸半導(dǎo)體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。
1.2名稱:雙腔室甩干機
1.3型號:SemiTool 晶圓甩干機CSM870S 詳細(xì)介紹
二、主要技術(shù)參數(shù)
項目
主要性能指標(biāo)和參數(shù)
加工硅片尺寸
2-6 英寸圓片
單次甩干數(shù)量
50片
工位數(shù)量(個)
2
顆粒增加值
客戶要求
旋轉(zhuǎn)速度 RPM/MIN
200-2200
甩干時間
5-8min
腔室及氮氣加熱方式
電加熱器
氮氣壓力
0.25-0.3Mpa,氮氣管接口3/8”
氮氣耗量 L/min
80
純水壓力
0.25-0.3Mpa, 管接口3/8”
排水管
40mm圓管 PVC管
控制系統(tǒng)
三菱PLC可編程控制器
顯示
4.3寸觸摸屏
電源
AC220V
整機功率
5 KW
外型尺寸(深*寬*高)mm
710mm*460mm*1850mm
三、售后服務(wù)及培訓(xùn)
3.1技術(shù)培訓(xùn)
設(shè)備試生產(chǎn)運行前,賣方負(fù)責(zé)培訓(xùn)買方相關(guān)操作和維修人員,內(nèi)容包括設(shè)備操作維護、故障的分析和處理。
3.2售后服務(wù)
質(zhì)保期內(nèi)設(shè)備如發(fā)生故障,在得到買方通知后 4 個小時給答復(fù),24 小時內(nèi)賣方派有經(jīng)驗的工程師到現(xiàn)場進行維修。
賣方對設(shè)備提供終生的免費技術(shù)支持,隨時處理、解答買方提出的技術(shù)問題。
質(zhì)保期內(nèi)每年派出 1~2 名相關(guān)技術(shù)人員到廠作指導(dǎo)及進行相應(yīng)維護。
技術(shù)培訓(xùn)和售后服務(wù)期間賣方人員的費用由賣方承擔(dān)。
四、設(shè)備驗收
4.1設(shè)備交貨期見商務(wù)合同
4.2交貨方式
設(shè)備在買方的施工現(xiàn)場安裝調(diào)試完畢、連續(xù)試生產(chǎn)正常運行 30 日后,驗收合格整體交貨。
設(shè)備到貨開箱前賣方應(yīng)提前3天通知買方,由買方、賣方和監(jiān)理共同進行設(shè)備的初驗。
賣方在設(shè)備包裝發(fā)貨前10天通知買方到賣方制造現(xiàn)場驗收,經(jīng)買方驗收人員驗收合格簽字后確定發(fā)貨時間;設(shè)備驗收時須提供相關(guān)驗收資料,但不作為設(shè)備的結(jié)束驗收。