產品介紹：

Film Sense 多波長橢偏儀 FS-1?

Film Sense FS-1?多波長橢偏儀采用壽命長， LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現快速和可靠地薄膜測量。大多數厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量，就可以獲得準確的數據。還可以測量大多數樣品的光學常數和其他薄膜特性。

Film Sense FS-1?多波長橢偏儀 這款功能強大的多波長橢偏儀，FS-1可應用于研究實驗室，超凈間，原位工藝腔體以及工業質量控制等諸多領域。

主要特點

1. 4 個 LED 光源：藍色（465nm），綠色（525nm）， 黃色（580nm），紅色（635nm）。

2. 橢偏儀探測器中無可移動部件。

3. 大多數樣品精密度在于 0.001nm（1 秒獲取數據），對于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm。

4. 集成計算機，可實現對設備控制和數據分析，自帶瀏覽器界面，可兼容任何現代計算機，筆記本或平板電腦。

優勢

1. 壽命長（長達50,000小時），更換 LED 燈便宜，校準時間短或無需PM程序

2. 快速測量（10ms 內獲得多波長數據）和長期性能穩定

3. 測量準確，橢偏儀可以實現

4. 軟件設置和維護簡單

標準 FS-1 配置

1. 65°入射角

2. 手動放置樣品和調節高度

3. 樣品尺寸最 大直徑200mm 和厚度23mm

4. 樣品偏轉范圍+/-20

5. 樣品上光束尺寸 5 x 12 mm

6. 結構緊湊(180 x 400 mm) 和輕巧(4.8 kg)

性能

FS-1多波長橢偏儀擅長測量膜厚范圍 0-1000nm 的透明單一薄膜的厚度和折射率。下表列出的是針對各種不同樣品，包括多層膜樣品。

應用領域

1. 半導體行業：二氧化硅和氮化物，高介電和低介電材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻膠。

2. 光學薄膜行業：高和低指數薄膜，如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2 等。

3. 顯示屏行業：TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有機薄 膜（OLED 技術）。

4. 數據存儲行業：寶石，如碳膜。

5. 工藝研發：原位表征薄膜沉積（速率和光學常數） VS 工藝條件，可兼容 MBE, MOCVD, ALD 和磁控濺射等設備。

6. 化學和生物：在液體細胞實驗中探測亞單原子層材料吸附。

7. 工業：在線監測和控制膜厚。