SE-L光譜橢偏儀是一款全自動(dòng)高精度光譜橢偏儀，集眾多科技ZL技術(shù)，采用行業(yè)前沿創(chuàng)新技術(shù)，配置全自動(dòng)測(cè)量模塊。通過(guò)橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測(cè)量，快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析。SE-L光譜橢偏儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜結(jié)構(gòu)：介電薄膜、金屬薄膜、高分子、光刻膠、硅、PZT膜，激光二極管GaN和AlGaN、透明的電子器件、平板顯示、光伏太陽(yáng)能、功能性涂料、生物和化學(xué)工程、塊狀材料分析等領(lǐng)域。1、高精度自動(dòng)測(cè)量光學(xué)橢偏測(cè)量解決方案
2、全自動(dòng)變角、調(diào)焦等控制平臺(tái)，一鍵快速測(cè)量
3、軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計(jì)，易上手、操作便捷
4、豐富的數(shù)據(jù)庫(kù)和幾何結(jié)構(gòu)模型庫(kù)，保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力
5、采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)
6、高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、PCRSA配置，實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集
7、全自動(dòng)橢偏測(cè)量技術(shù)，基于行業(yè)領(lǐng)先電機(jī)控制技術(shù)，全自動(dòng)調(diào)整測(cè)量角度，高精度控制樣件臺(tái)，實(shí)現(xiàn)樣件快速自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)找焦
8、頤光ZL技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi)，提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜
9、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫(kù)、多種算法模型庫(kù)，涵蓋了目前絕大部分的光電材料