產品簡介

BASIXX ST20 +是一款桌面式勻膠機系統，性價比高，具有勻膠、清洗、顯影和干燥等多種功能，樣品尺寸為8寸晶圓或者150mm*150mm方片，廣泛用于大學，研究所等科研實驗室。

產品特色

1. 桌面版本的緊湊型設計

2. 手動裝載/卸載

3. 襯底可達 ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

4. 軟件提供用戶友好的操作

5. 直驅旋涂電機

6. 全軸電機驅動且完全可編程

7. 帶安全中斷傳感器的透明蓋

8. 可更換并易于拆卸的工藝腔和防濺環，方便清潔。

9. 系統材料可抵抗所有類型的抗蝕劑和溶劑以及各種清潔介質。 (PP-聚丙烯)

10. 包含 0.5 升廢液瓶

技術數據

1. 襯底尺寸: 可達 ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

2. 電機轉速:  10.000 rpm，步長 1 rpm

3. 電機加速:  4.000 rpm/s

4. 步進時間: 1 至 999.9 s，步長為 0.1 s

5. 工作腔材料: PP 

6. 系統架構材料: PP 

7. 液體線路：

   3線 : 2 x 24 V / 1 Amp (每條) / 觸發點 0.1 秒 - ∞

   5線: 6 x 24 V /  1 Amp (每條) / 觸發點 0.1 秒 - ∞

選項

1. 自動液體輸送臂

2. 液體罐

3. 防濺環

4. 廢液池

5. DI水沖洗

6. N2吹掃

7. 熱板

8. 不同類型的夾具

9. 中心定位模塊