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透射電鏡(TEM)樣品桿清洗機

銷售范圍售全國

入駐年限第7年

營業(yè)執(zhí)照已審核

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產(chǎn)品特點

CIF透射電鏡（TEM）樣品桿清洗機采用遠程離子清洗源設計，清洗快速高效，低轟擊損傷，同時可實現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏。

產(chǎn)品型號：

CIF-TEM

一、應用領域

等離子清洗設備廣泛應用于材料學、微電子、半導體、新能源、線路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫(yī)學等領域，主要用于材料表面進行清洗、改性、刻蝕等目的。

二、設備特點

三、設備參數(shù)

產(chǎn)品型號	CIF-TEM
等離子電源	13.56MHz等離子射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào)
等離子電源	遠程等離子源，自動匹配器
清洗室	清洗室尺寸?180xH100mm
清洗數(shù)量	可同時清洗3支TEM樣品桿
適配品牌	美國THERMO FISHER（FEI）、日本日立（HITACHI）、日本電子（JEOL）
氣體控制	標配單路質(zhì)量流量計（MFC）可選雙路。0-500sccm，自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響
氣源選擇	根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇
真空控制	皮拉尼真空計，測量范圍1.0E-5Pa~1E+5Pa
真空保證	真空計和電磁閥安全互鎖
操控方式	7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面
真空泵	前級泵
	抽氣速率2.5 m3/h
	分子泵
	極限真空：LF<810-6Pa，CF<810-7Pa
	分子泵抽速 85L/s（N2）
	入口法蘭：DN63 ISO-K(LF)/ CF
質(zhì)量保證	二年質(zhì)保，終身維護
電源	AC220V、50/60Hz，300W
產(chǎn)品尺寸	L565xW505xH560mm
包裝尺寸	L715xW655xH820mm
整機重量	68kg