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CIF-SEM掃描電鏡等離子清洗機(jī)
- 品牌：CIF
- 型號(hào)： cif-sem
- 產(chǎn)地：上海
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議
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旭阿科技（上海）有限公司
更新時(shí)間：2025-07-21 09:10:33 -
銷售范圍售全國(guó)
入駐年限第7年
營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品等離子清洗機(jī)(18件)
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產(chǎn)品特點(diǎn)
- CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計(jì)，清洗快速、高效、低轟擊損傷，主要用于SEM或FIB等腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础Ｅc國(guó)內(nèi)外知名廠商電鏡配套使用。
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號(hào)：
CIF-SEM
一、應(yīng)用領(lǐng)域
CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計(jì)，清洗快速、高效、低轟擊損傷，主要用于SEM或FIB等腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础Ｅc國(guó)內(nèi)外知名廠商電鏡配套使用。
二、設(shè)備特點(diǎn)
遠(yuǎn)程等離子清洗源
清洗快速、高效
低轟擊損傷
三、設(shè)備參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)
CIF-SEM
法蘭接口
KF40（CF40）
工作氣壓
0.3-3Pa
等離子電源
13.56MHz射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào)
遠(yuǎn)程等離子源，自動(dòng)匹配器
氣體控制
標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC）可選雙路。0-500sccm，自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響
氣源選擇
根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)狻錃獾榷喾N清洗氣源選擇
真空保證
真空計(jì)和電磁閥安全互鎖
操控方式
7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面
電源/功率
AC220V，50/60Hz，320W
可選配件
可選氧氣、氮?dú)狻錃獍l(fā)生器， 氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-500SCCM
質(zhì)量保證
二年質(zhì)保，終身維護(hù)
產(chǎn)品尺寸
L320xW385xH465mm
包裝尺寸
L440xW535xH725mm
整機(jī)重量
25kg
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號(hào)