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手套箱專用等離子清洗機
- 品牌：CIF
- 型號： VGB3/VGB3Plus
- 產地：上海
- 供應商報價：面議
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旭阿科技（上海）有限公司
更新時間：2025-07-21 09:10:33 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業執照已審核
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產品特點
- CIF推出VGB系列手套箱專用等離子清洗設備，優化的腔體結構及合理的結構設計更適合手套箱內使用。安裝簡單方便，性能穩定，實用性強，容易維護。
詳細介紹
產品型號：
VGB3/VGB3Plus
一、應用領域
等離子清洗設備廣泛應用于材料學、微電子、半導體、新能源、線路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫學等領域，主要用于材料表面進行清洗、改性、刻蝕等目的。
CIF推出VGB系列手套箱專用等離子清洗設備，優化的腔體結構及合理的結構設計更適合手套箱內使用。安裝簡單方便，性能穩定，實用性強，容易維護。
二、技術參數
型號
VGB3
VGB3Plus
艙體尺寸
D200XΦ155mm
D200XΦ155mm
艙體容積
3.8L
3.8L
艙體材質
不銹鋼
不銹鋼
射頻電源
40KHz
13.56MHz
匹配器
自動匹配
自動匹配
激發方式
電容式或電感
電容式
射頻功率
0-500W可調
0-150W可調
氣體控制
雙浮子流量計（標配）
有效處理尺寸
L200xW155mm
時間設定
9999秒
真空泵
抽速4m3/h
氣體穩定時間
1分鐘
真空度
100pa以內
電 源
AC220V 50/60Hz 666/316W
艙體尺寸
L235xW345xH245mm
控制尺寸
L330xW490xH190mm
包裝尺寸
L450xW640xH690mm
整機重量
25kg
滬公網安備 31011502008050號