輝光放電光譜儀是解密鍍層工藝、解析鍍層結構的強有力手段，可以通過元素變化獲得鍍層結構、層間擴散、元素富集、表面處理、鍍層均一性等信息，從而改善工藝條件等。主要應用行業有金屬冶金、半導體器件、LED芯片、薄膜太陽能電池、鋰電池陰陽、光學玻璃、核材料等。