輝光放電光譜儀是解密鍍層工藝、解析鍍層結(jié)構(gòu)的強有力手段，可以通過元素變化獲得鍍層結(jié)構(gòu)、層間擴散、元素富集、表面處理、鍍層均一性等信息，從而改善工藝條件等。主要應(yīng)用行業(yè)有金屬冶金、半導(dǎo)體器件、LED芯片、薄膜太陽能電池、鋰電池陰陽、光學(xué)玻璃、核材料等。