產品介紹：

手動晶圓，基板，光罩清洗機

Model SCSe124

高效型SCSe124是晶圓和基板做亞微米清洗的理想解決方案。具有可靠和成本效益的系統及采用經過驗證的清洗技術。SCSe124可以配置幾種不同的清潔選項，形成高壓去離子水，霧化噴霧噴嘴，刷子，超聲波噴嘴等等。快速有效的干燥技術結合了可變旋轉速度，另可選配加熱去離子水，氮氣輔助或加熱燈。SCSe124具有一個微處理器控制器，允許存儲器中zui多10組清洗參數。

特征：

?可清潔10英寸直徑基板。

?主軸裝配有直流無刷馬達（可升級更多控制）。

?可調手臂速度和行程位置。?獨立聚丙烯腔體。

?微處理器控制能夠中保留10清洗參數。

?內置安全控鎖。?按鈕式上蓋打開/關閉。

?觸控式圖形用戶界面（GUI），易于編程和屏幕顯示錯誤報告。

?zui多可配置2個清潔手臂。

另有：自動晶圓，基板，光罩清洗機可選。

濕式清潔臺/批量晶圓，基板，光罩清洗機可選。

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