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SMEE 600系列光刻機(jī) —— IC前道制造
- 品牌：上海品測(cè)
- 型號(hào)： SMEE 600
- 產(chǎn)地：上海 嘉定區(qū)
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議
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上海品測(cè)精密儀器有限公司
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銷售范圍售全國(guó)
入駐年限第5年
營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備(15件)
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產(chǎn)品特點(diǎn)
- SSX600系列步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應(yīng)調(diào)焦調(diào)平技術(shù)，以及自減振六自由度工件臺(tái)掩模臺(tái)技術(shù)，可滿足IC前道制造90nm、110nm、280nm關(guān)鍵層和非關(guān)鍵層的光刻工藝需求。該設(shè)備可用于8寸線或12寸線的大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品介紹：
SMEE 600系列光刻機(jī) —— IC前道制造
SSX600系列步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應(yīng)調(diào)焦調(diào)平技術(shù)，以及自減振六自由度工件臺(tái)掩模臺(tái)技術(shù)，可滿足IC前道制造90nm、110nm、280nm關(guān)鍵層和非關(guān)鍵層的光刻工藝需求。該設(shè)備可用于8寸線或12寸線的大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)。
主要技術(shù)參數(shù)
型號(hào)
SSA600/20
SSC600/10
SSB600/10
分辨率
90nm
110nm
280nm
曝光光源
ArF excimer laser
KrF excimer laser
i-line mercury lamp
鏡頭倍率
1:4
1:4
1:4
硅片尺寸
200mm或300mm
200mm或300mm
200mm或300mm
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號(hào)