SemiChem 在線濃度監(jiān)測儀
InVue? GV148 液體濃度監(jiān)測器
SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀
美國PSS粒度儀
AccuSizer 780 A7000 APS 全自動(dòng)計(jì)數(shù)粒度儀
SemiChem 在線濃度監(jiān)測儀
Entegris在設(shè)計(jì)和生產(chǎn)用于半導(dǎo)體制造工藝中 的化學(xué)機(jī)械平坦化（CMP）漿料和配方清潔化學(xué)品的高精度分析儀器的有豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的技術(shù)旨在確保復(fù)雜混合化學(xué)品的精確一致性，并在 CMP和配方清潔工藝中實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量。
我們的 SemiChem Advanced Process Monitor （SemiChem 在線濃度監(jiān)測儀）是集自動(dòng)取樣、分析和報(bào)告關(guān)鍵過程的定量化學(xué)濃度的化學(xué)監(jiān)測系統(tǒng)。全面的在線化學(xué)監(jiān)測可實(shí)時(shí)校正漿料成分，從而穩(wěn)定控制工藝生產(chǎn)條件。該系統(tǒng)可提供分類化學(xué)濃度數(shù)據(jù)。當(dāng)立即顯現(xiàn)時(shí)，可以快速糾正可能對產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)生負(fù)面影響的變化，有助于滿足更高產(chǎn)品產(chǎn)量的要求。
應(yīng)用領(lǐng)域
?我們安裝了近3000套SemiChem APM系統(tǒng)，用于控制金屬 CMP 濃度。它是控制CMP過氧化物的可靠的中心工具，并被證明在微電子環(huán)境中的所有濕化學(xué)應(yīng)用中都具有較好的性能，包括：
·銅，鎢，阻擋層和金屬CMP
·制定清潔
·DSP+
·濕法蝕刻，氮化物蝕刻
·平底蝕刻，食人魚蝕刻
·高頻
·廢水
功能與特點(diǎn)
| 經(jīng)驗(yàn)證的標(biāo)準(zhǔn)電化學(xué)技術(shù) | 提供行業(yè)精確的監(jiān)控，以保證過程化學(xué)成分和完整性 |
| 提供化學(xué)濃度數(shù)據(jù)，使?jié){料/化學(xué)分配系統(tǒng)能夠提供準(zhǔn)確的化學(xué)濃度 | |
| 在線的，接近實(shí)時(shí)檢測的系統(tǒng) | 檢測揮發(fā)性化學(xué)物質(zhì)的工藝偏差，防止產(chǎn)品質(zhì)量損壞 |
| 將實(shí)驗(yàn)室技術(shù)過渡到在線，實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確的在線控制 | |
| 堅(jiān)固耐用的工業(yè)設(shè)計(jì) | 維持至少8500小時(shí)平均工作時(shí)間 |
| 可經(jīng)受嚴(yán)峻的工業(yè)環(huán)境 |
| 分析方法 | 電位測定法，標(biāo)準(zhǔn)加成法，光度測定法 |
| 電位測量的準(zhǔn)確性* | 顯示值的±0.2% |
| 標(biāo)準(zhǔn)添加的準(zhǔn)確性* | 顯示值的±2.0% |
| 電位測量精度* | ±0.2%相對誤差 |
| 標(biāo)準(zhǔn)添加精度* | ±2.0%相對誤差 |
| 測量時(shí)間 | >5分鐘/次（取決于應(yīng)用程序） |
| 校準(zhǔn)間隔 | 啟動(dòng)時(shí)** |
| 樣品消耗 | <5 mL/次 |
| 進(jìn)樣量 | 0.05-5 mL（取決于應(yīng)用） |
| 進(jìn)樣溫度 | ≤93°C（200°F） |
| 耗水量 | <1000 mL/分析 |
| 樣品進(jìn)樣/排樣 | <207 kPa（30 psi），0.5 L/min |
| 1/4" OD擴(kuò)口接頭，1" FPT安全殼聯(lián)軸器 | |
| 去離子水 | 138至276 kPa（20至40 psi） |
| 2.0升/分鐘 | |
| 外徑 1/4" 擴(kuò)口接頭 | |
| CDA | 414-552 kPa（60-80 psi） |
| 1/4" 外徑快速接頭 | |
| 排水 | 工藝：3/4“NPT重力排水管 機(jī)柜：1/2“NPT重力 |
| 電源 | 110/220 VAC，50/60 Hz，1/0.5 A現(xiàn)場可切換 |
| 廢氣 | 外徑1 7/8" @ 17 CFM |
| 標(biāo)準(zhǔn)功能 | 可選功能 |
·四個(gè)4-20 mA模擬輸出 ·八個(gè)可編程繼電器 ·以太網(wǎng)和RS232串行 ·彩色觸摸屏 ·單個(gè)測量單元 ·綜合試劑儲(chǔ)存 ·單個(gè)采樣點(diǎn) ·一個(gè)5 mL數(shù)字滴定管 ·多傳感器輸入 | ·多個(gè)采樣點(diǎn) ·額外的5 mL數(shù)字滴定管 ·附加傳感器 ·安全聯(lián)鎖裝置 ·試劑微量檢測 |
尺寸
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢1041次Entegris 濃度監(jiān)測儀
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢1055次Entegris 濃度監(jiān)測儀
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢1213次在線惡臭氣體監(jiān)測系統(tǒng)
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢2420次餐飲業(yè)油煙在線監(jiān)測
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢2799次揮發(fā)性有機(jī)物（VOC）在線監(jiān)測
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢2736次揮發(fā)性有機(jī)物（VOC）在線監(jiān)測
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢2385次餐飲業(yè)油煙在線監(jiān)測
報(bào)價(jià)：面議
已咨詢2833次餐飲業(yè)油煙在線監(jiān)測
適合大多數(shù)不銹鋼外殼，在廣泛的應(yīng)用中提供 設(shè)計(jì)靈活性和多功能性 為空氣和氣體應(yīng)用提供安全的無菌過濾 提供高質(zhì)量的無菌保證
使用堿液或高壓滅菌器進(jìn)行滅菌，或與伽馬照射組件一起使用以消除生物污染 確保過濾緩沖液后不存在細(xì)菌 高壓滅菌器具有允許用戶選擇原位集成緩沖過濾器的優(yōu)勢，以滿足他們自己特定的模板和需求 Gamma 能力確保集成商可以將這些過濾器連接到任何客戶特定的一次性組件中，提供無菌的Z終組裝產(chǎn)品 允許在包括酸和堿在內(nèi)的一系列化學(xué)物質(zhì)中使用 達(dá)到或超過其他市售過濾器，允許在有限的時(shí)間內(nèi)處理更多的體積
使快速和均勻的凍結(jié)和解凍 提供Z大的耐久性和強(qiáng)度，保護(hù)高價(jià)值的工藝流體免受產(chǎn)品損失 為貴重的原料藥提供防損壞保護(hù) 減少所需容量，節(jié)省寶貴的冷柜空間 允許用戶保持其凍結(jié)/運(yùn)輸/解凍流程，防止流程中斷 適應(yīng)部分灌裝量，增加了工藝靈活性 提供一次性凍存袋的固定和振動(dòng)阻尼，進(jìn)一步保護(hù)敏感化合物 提供方便的處理并易于回收
?縮短冷凍時(shí)間，節(jié)省寶貴的冷凍室空間 提供用于堆疊或架起低溫袋的結(jié)構(gòu)，降低處理風(fēng)險(xiǎn) 適用于許多市售的冰柜和架子 每個(gè)盒子都與相應(yīng)的 Aramus 袋組件幾何形狀配合使用 允許修改幾何形狀以優(yōu)化您應(yīng)用的表面積與體積比 低溫運(yùn)輸和儲(chǔ)存的經(jīng)濟(jì)解決方案
·可靠和靈活的高質(zhì)量 ·低顆粒計(jì)數(shù) ·-196°至121°C(-321°至250°F)溫度兼容性 ·100% DMSO和全面的化學(xué)兼容性 ·Z大限度地回收樣品 ·內(nèi)置可追溯性(每個(gè)袋子都印有識(shí)別號(hào)碼) ·全面驗(yàn)證包裝 ·20mL至20帶獨(dú)立管路和連接器的袋體
在各種工藝溫度下依舊保持性能。 減少袋子破損概率，可在低溫應(yīng)用中使用至-196°C（-321°F）或更低，而不會(huì)對袋子或船具安裝產(chǎn)生負(fù)面影響。 單層設(shè)計(jì)不會(huì)分層，降低了分層引起的材料故障和產(chǎn)品損失的 風(fēng)險(xiǎn)。 與各種化學(xué)品表現(xiàn)出較強(qiáng)的兼容性，包括強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、油性、脂 質(zhì)和有機(jī)物，而不會(huì)影響材料或產(chǎn)品。 可承受25-40 kGy的標(biāo)準(zhǔn)伽馬滅菌。 減少引入Z終產(chǎn)品的潛在污染物（粘合劑等）的含量。 含氟聚合物膜的高疏水性減少吸收活性藥物成分和關(guān)鍵制劑 賦形劑的可能，減少產(chǎn)量損失占比。 具有顆粒含量低，生物負(fù)載低和內(nèi)毒素的表現(xiàn)低，可提高純度。 經(jīng)過穿著培訓(xùn)和處理程序培訓(xùn)的操作員可加強(qiáng)污染控制。 減輕污染并保持低生物負(fù)載水平的組件。 整合到已經(jīng)驗(yàn)證的流程中提供更大的靈活性。
?提供行業(yè)精確的監(jiān)控，以保證過程化學(xué)成分和完整性 提供化學(xué)濃度數(shù)據(jù)，使?jié){料/化學(xué)分配系統(tǒng)能夠提供準(zhǔn)確的化學(xué)濃度 檢測揮發(fā)性化學(xué)物質(zhì)的工藝偏差，防止產(chǎn)品質(zhì)量損壞 將實(shí)驗(yàn)室技術(shù)過渡到在線，實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確的在線控制 維持至少8500小時(shí)平均工作時(shí)間 可經(jīng)受嚴(yán)峻的工業(yè)環(huán)境
·獲得實(shí)時(shí)折射率、流體溫度和濃度信息 ·自定義折射率以及濃度切換 ·獲取和分析化學(xué)品特定溫度補(bǔ)償?shù)臄?shù)據(jù) ·傳感器平衡操作 ·查看當(dāng)前警告信息、系統(tǒng)事件和警告歷史信息 ·折射率歸零 ·配置模擬輸出
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