SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監測儀
SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監測儀為工程師提供了準確性、可靠性和靈活性的過程監控，可以提高效率、保證晶圓制造的一致性，以滿足更高的良率和容錯的要求。在競爭激烈的微電子工業中，如果不使用復雜的監測和控制來確保晶圓制造的一致性，晶圓的制造成本將大大提高。
我們的SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監測儀允許定量化學濃度。全在線化學監測能夠實時校正溶液成分，從而穩定控制工藝條件、保持產品的一致性。
監控工藝過程中溶液的組分信息能夠增加產品的產量。可能影響產品質量的變化在檢測時會立即顯現出來，并在產品質量受損之前迅速糾正。
產品選項
? 多個樣本點
? 額外的5 mL數字滴定管
? 附加傳感器
? 安全聯鎖裝置
? 試劑低液位檢測
優勢
? 增加工具產量
? 降低化學品成本
? 實時過程監控
? 降低批量損失
? 降低所有者成本
應用
? 銅化學機械拋光
? 鎢化學機械拋光
? 濕法蝕刻
? 清潔
? DSP+
? 氮化物蝕刻
? PAN蝕刻
? 食人魚蝕刻
? HF
產品特點
? 4個4-20 mA 模擬輸出
? 8個可編程繼電器
? 以太網和 RS232 串口
? 彩色觸摸屏
? 集成試劑儲存
? 單采樣點
? 1個5mL數顯滴定管
? 多個傳感器輸入
?規格
| 分析方法 | 電位法/標準加入法/光度法 |
| 精確度1 | ±0.2%顯示值 |
| 誤差度1 | 0.2%相對誤差 |
| 測量時間 | 少于5分鐘/分析(取決于應用) |
| 校準頻率 | 自開始起2 |
| 樣品消耗量 | 小于 5 mL/次 |
| 樣品量 | 0.05 至 5 mL（取決于應用） |
| 樣品溫度 | 低于93℃(200℉) |
| 耗水量 | 少于1000mL/次 |
| 樣品入口/返回 | 小于30 psi |
| 0.5升/分鐘 | |
| 1/4”外徑擴口接頭 | |
| 1”FPT 密封聯軸器 | |
| 去離子水 | 20-40 psi |
| 2升/分鐘 | |
| 1/4”外徑擴口接頭 | |
| CDA | 60-80 psi |
| 1/4”外徑快速接頭 | |
| 過程排放 | 3/4”NPT 重力排放 |
| 機箱排水 | 1/2”NPT 重力排放 |
| 電源 | 110 /220 VAC，50 /60 Hz，1/0.5 A 現場可切換 |
| 排水 | 1 7 /8” OD @ 17 CFM |
| 外形尺寸 | 39.00”H x 27.00”W x 16.00”D |
2這不包括 pH 傳感器的校準。有關詳細信息，請參閱安裝和操作手冊。Entegris 相信此處包含的數據是真實的，所表達的意見是合格專家對所進行測試的結果的看法，這些數據不應被視為 Entegris 承擔法律責任的保證或陳述。提供的數據僅供考慮、調查和驗證。對這些數據和信息的任何使用都必須由用戶決定，以符合聯邦、州和當地的法律法規。所有規格如有更改，恕不另行通知。
規模大小
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適合大多數不銹鋼外殼，在廣泛的應用中提供 設計靈活性和多功能性 為空氣和氣體應用提供安全的無菌過濾 提供高質量的無菌保證
使用堿液或高壓滅菌器進行滅菌，或與伽馬照射組件一起使用以消除生物污染 確保過濾緩沖液后不存在細菌 高壓滅菌器具有允許用戶選擇原位集成緩沖過濾器的優勢，以滿足他們自己特定的模板和需求 Gamma 能力確保集成商可以將這些過濾器連接到任何客戶特定的一次性組件中，提供無菌的Z終組裝產品 允許在包括酸和堿在內的一系列化學物質中使用 達到或超過其他市售過濾器，允許在有限的時間內處理更多的體積
使快速和均勻的凍結和解凍 提供Z大的耐久性和強度，保護高價值的工藝流體免受產品損失 為貴重的原料藥提供防損壞保護 減少所需容量，節省寶貴的冷柜空間 允許用戶保持其凍結/運輸/解凍流程，防止流程中斷 適應部分灌裝量，增加了工藝靈活性 提供一次性凍存袋的固定和振動阻尼，進一步保護敏感化合物 提供方便的處理并易于回收
?縮短冷凍時間，節省寶貴的冷凍室空間 提供用于堆疊或架起低溫袋的結構，降低處理風險 適用于許多市售的冰柜和架子 每個盒子都與相應的 Aramus 袋組件幾何形狀配合使用 允許修改幾何形狀以優化您應用的表面積與體積比 低溫運輸和儲存的經濟解決方案
·可靠和靈活的高質量 ·低顆粒計數 ·-196°至121°C(-321°至250°F)溫度兼容性 ·100% DMSO和全面的化學兼容性 ·Z大限度地回收樣品 ·內置可追溯性(每個袋子都印有識別號碼) ·全面驗證包裝 ·20mL至20帶獨立管路和連接器的袋體
在各種工藝溫度下依舊保持性能。 減少袋子破損概率，可在低溫應用中使用至-196°C（-321°F）或更低，而不會對袋子或船具安裝產生負面影響。 單層設計不會分層，降低了分層引起的材料故障和產品損失的 風險。 與各種化學品表現出較強的兼容性，包括強酸、強堿、油性、脂 質和有機物，而不會影響材料或產品。 可承受25-40 kGy的標準伽馬滅菌。 減少引入Z終產品的潛在污染物（粘合劑等）的含量。 含氟聚合物膜的高疏水性減少吸收活性藥物成分和關鍵制劑 賦形劑的可能，減少產量損失占比。 具有顆粒含量低，生物負載低和內毒素的表現低，可提高純度。 經過穿著培訓和處理程序培訓的操作員可加強污染控制。 減輕污染并保持低生物負載水平的組件。 整合到已經驗證的流程中提供更大的靈活性。
?提供行業精確的監控，以保證過程化學成分和完整性 提供化學濃度數據，使漿料/化學分配系統能夠提供準確的化學濃度 檢測揮發性化學物質的工藝偏差，防止產品質量損壞 將實驗室技術過渡到在線，實現快速準確的在線控制 維持至少8500小時平均工作時間 可經受嚴峻的工業環境
·獲得實時折射率、流體溫度和濃度信息 ·自定義折射率以及濃度切換 ·獲取和分析化學品特定溫度補償的數據 ·傳感器平衡操作 ·查看當前警告信息、系統事件和警告歷史信息 ·折射率歸零 ·配置模擬輸出
營業執照已審核
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滬公網安備 31011502008050號