該射頻電源整機功率密度高。支持連續波、脈沖、多級脈沖的工作模式?？勺远x配置脈沖信號，響應速度快，信號質量高。支持高速、高精度的調頻功能。

高功率電源是新一代射頻電源發生器，單臺輸出功率可達30KW。產品廣泛應用于LCD、光伏等行業。典型應用包括濺射、PECVD和表面處理

是一種用于產生等離子體的裝置，通常被用于在真空環境中進行表面處理、材料改性、薄膜沉積等工藝，以及半導體刻蝕和薄膜設備的預處理反應和清洗等。

該匹配器能夠提供快速、準確和可靠的阻抗變換?？勺冸娙萦呻姍C驅動，電機通過計算主板控制。

完善的射頻和離子源控制系統；快速達到放電穩定狀態（10s以內）；中和器快速穩定（3s以內）；在導軌上移動，移動距離大于3米；法蘭安裝方便；配射頻中和器。

40KHz中頻電源提供一個40kHz的諧振開關模式的輸出功率，具有增強的保護機制，其內部負載匹配輸出可提供5KW到15kW。

靜電卡盤電源可為半導體晶片轉移所使用的靜電夾盤提供穩定的功率輸出。

該電源作為射頻驅動等離子體系統的電源，主要應用于半導體領域。應用對象包括：刻蝕、PECVD、PVD等系統

該自動匹配器主要應用對象包括：刻蝕、ICP、光學鍍膜、等離子清洗、等離子體增強、感應加熱及PECVD等系統。

該電源可以作為射頻驅動等離子體系統的電源。應用對象包括：刻蝕、PECVD、磁控濺射、ICP等 。

該電源輸出功率可達2500W到5000W ，頻 率13.56MHz，標準正弦波。該系列電源具有功率輸出精度高、穩定、可重復等優點。其固態設計使得該產品價格低、可靠性高。電源采用大屏幕液晶顯示：設定功率...