產品性能

該射頻電源采用E類放大器，實現效率高、高可靠性。大的冗余設計，使其具有長期滿功率輸出能力。特殊的濾波網絡，實現波形的純凈。諧波性能優越，可承受開路、短路等極端沖擊。大屏幕液晶顯示：設定功率、入射功率、反射功率、狀態等參數

產品性能

該電源可以作為射頻驅動等離子體系統的電源。應用對象包括：刻蝕、PECVD、磁控濺射、ICP等 。

控制方式

該電源控制方式多樣：RS232、RS485、DeviceNet和模擬口等方式。