國產層流壓差流量控制器技術介紹
在精密制造與科研領域,氣體流量的精準控制直接關系工藝質量和實驗結果。陜西易度智能科技有限公司依托自主研發的層流壓差技術,推出了SC、MC、EC及P系列質量流量計(MFM)和質量流量控制器(MFC),為我國半導體、新能源、生物制藥等領域提供了高可靠性的氣體測控解決方案。
層流壓差技術是易度智能產品的核心優勢。其原理是通過層流元件將湍流氣體轉化為規則的層流狀態,利用壓差傳感器測量層流元件兩端的壓力差,再結合內置的高精度溫度與壓力傳感器實時補償環境波動,直接將工況流量轉化為標況質量流量。這一技術擺脫了傳統熱式流量計對“預熱”的依賴,實現開機即用、響應速度低于500ms,在-20℃~60℃的寬溫域及1MPa壓力環境下仍保持穩定運行。
易度智能的產品線覆蓋多場景精度需求:
SC系列配備觸控屏,支持實時顯示溫度、壓力、標況/工況流量等4種參數,精度高達±0.5%設定值,重復性±0.1%F.S.,適用于實驗室高精度標定與材料制備等場景;
EC系列取消屏幕設計但同等精度,強化工業抗干擾能力,標配RS485通訊,支持模擬信號擴展,專為集成到原子鍍膜設備、精細化工生產線等工業系統優化;
便攜式P300內置電池,續航15小時,滿足現場移動檢測需求。
所有系列均內置70余種氣體數據庫,涵蓋氫氣、氬氣、特種混合氣等,可直接切換介質或編輯混氣比例,無需人工轉換系數。結合上位機軟件,可實現流量數據的實時監測與歷史記錄分析,大幅提升復雜氣體控制場景的效率。
目前,易度智能的層流壓差流量設備已應用于多個高端領域:在光伏鍍膜工藝中精確控制反應氣體濃度;為生物反應器提供無菌環境下的穩定氣源;集成于環保分析儀器實現排放氣體的動態監測。其金屬密封殼體與316L不銹鋼流道設計,更確保了在腐蝕性氣體和電磁干擾環境中的長期可靠性。
從科研儀器到工業生產線,陜西易度智能通過層流壓差技術的深度創新,不僅打破了高端氣體流量控制設備的國際壟斷,更以“高精度-免預熱-強抗擾”三位一體性能,推動國產氣體測控技術步入國際先進行列。未來,隨著氫能、半導體等戰略產業的升級,這一自主技術體系將為中國精密制造提供更堅實的支撐。
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