——對控制精度、重復(fù)性有更高要求的行業(yè)配套客戶

MC100標(biāo)準(zhǔn)型氣體層流質(zhì)量流量控制器通過產(chǎn)品內(nèi)置的壓力、溫度傳感器的精確補(bǔ)償及核心算法，在低零點(diǎn)、溫度、壓力漂移量上表現(xiàn)出了杰出性能。堅(jiān)固的金屬外殼，使產(chǎn)品在工業(yè)復(fù)雜環(huán)境下確保耐用性和強(qiáng)抗電磁干擾性能，內(nèi)置多種氣體和混氣設(shè)置，數(shù)字式和模擬式的通訊方式，實(shí)現(xiàn)流量測控。

量程范圍：0.5sccm~5000slpm

特征：

l 原理：層流壓差式流量計(jì)

l 高精度：±1.0%設(shè)定值精度

l 高重復(fù)性：±0.2%F.S.

l 寬溫度、寬壓力適用范圍：-20℃~60℃、1Mpa以內(nèi)

l 可選模擬信號（4-20）mA、(0~5)V或數(shù)字信號RS485通訊方式

l 內(nèi)置70+種氣體和混氣測量

l 提供上位機(jī)軟件實(shí)時(shí)顯示和下載數(shù)據(jù)信息

使用條件：

l 兼容內(nèi)置的70+種氣體和可編輯的混合氣體

l 工作流量范圍：1%~120%F.S.

l 介質(zhì)溫度：-20℃~60℃

l 環(huán)境溫度：-20℃~50℃

l 使用濕度：0%~98%（無冷凝）

l 工作壓力：1Mpa

l 耐壓：1.5Mpa

l 供電電壓：24V ±20%

l 消耗電流：＜150mA (供電電壓為24v時(shí)) ＜300mA（＜5V）

l 安裝方式：任意角度

應(yīng)用場景

l 光學(xué)、原子鍍膜設(shè)備中的流控器件

l 制造設(shè)備中流控系統(tǒng)的集成和配套

l 精細(xì)化工生產(chǎn)線中的流控器件

l 生物反應(yīng)器成套設(shè)備中的流控器件

l 配氣系統(tǒng)或裝置中的流控器件

l 分析儀器、科學(xué)儀器中的流控器件

l 定制化成套自動化設(shè)備中的流控器件

MC100標(biāo)準(zhǔn)型氣體層流質(zhì)量流量控制器通用于各類配套MFC場景。