hakuto 離子刻蝕機運用于 PDMS 軟刻蝕用母模板研究

來源：伯東企業（上海）有限公司      分類：應用方案 2021-08-31 10:57:52 218閱讀次數

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西南某高校在 PDMS 軟刻蝕用母模板研究中有采用到伯東 Hakuto 離子蝕刻機 7.5IBE .

 

 

Hakuto 離子蝕刻機 7.5IBE 技術規格:

真空腔	1 set, 主體不銹鋼,水冷
基片尺寸	1 set, 4”/6”? Stage, 直接冷卻,
離子源	? 8cm 考夫曼離子源 KDC75
離子束入射角	0 Degree～± 90 Degree
極限真空	≦1x10-4 Pa
刻蝕性能	一致性: ≤±5% across 4”

 

該 Hakuto 離子刻蝕機 7.5IBE 的核心構件離子源是配伯東公司代理美國考夫曼博士創立的 KRI考夫曼公司的考夫曼離子源 KDC 75

 

 伯東美國 KRI 考夫曼離子源 KDC75 技術參數：

離子源型號	離子源 KDC 75
Discharge	DC 熱離子
離子束流	>250 mA
離子動能	100-1200 V
柵極直徑	7.5 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	2-15 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr
長度	20.1 cm
直徑	14 cm
中和器	燈絲

 

采用伯東 Hakuto 離子刻蝕機 7.5IBE 刻蝕加工軟刻蝕母模板具有操作步驟簡單, 制備周期短的特點, 是一種有效的制備軟刻蝕母模板的設備

 

若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯絡方式 :

上海伯東 : 羅先生                               臺灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322                      T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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