Park NX20

缺陷分析的zui佳選擇

作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。

而儀器所提供的數據不能允許任何錯誤的存在。Park NX20，這款全球zui精密

的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數據準確性，在半導體和超平樣品行

業中大受贊揚。200mm樣品全尺寸自動測量，無需人工操作。

zui強大全面的分析功能

具備du一wu二的功能，可快速幫助客戶找到產品失效的原因，并幫助

客戶制定出更多具有創意的解決方案。無與倫比的精密度為您帶來高分辨率數

據，讓您能夠更加專注于工作。與此同時，真正非接觸掃描模式讓探針jian端更耐用，無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和金錢。

即便是di一次接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作

ParkNX20擁有業界最為便捷的設計和自動界面，讓你在使用時無需花費大量

的時間和精力，也不用為此而時時不停的指導初學者。借助這一系列特點，您

可以更加專注于解決更為重大的問題，并為客戶提供及時且富有洞察力的失效

分析報告。

Park Nx 20

創新工作的創新特征

為FA和研究實驗室提供jing準的形貌測量解決方案

■缺陷檢查成像和分析

■高分辨率電子掃描模式

■對樣品和基片進行表面粗糙度測量

■樣品側壁三維結構測量

低噪音Z探測器可精確測量AFM表面形貌

■非接觸模式，降低針尖磨損，減少換探針時間

■非接觸模式下的快速缺陷成像

■業內領先的三維結構測量的解耦XY掃瞄系統

■通過使用熱匹配的組件，盡量減少系統漂移和遲滯現象

低噪聲Z探測器可精確測量AFM表面形貌

■業界領先的低噪聲Z檢測器測量樣品表面形貌

■沒有過沿過沖和壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌

■即使是高速掃描也可以保持精確的表面高度

■行業領先的前向和后向掃描間隙橫向漂移小于0.15%

用真正的非接觸掃描方式節省成本

■在一般用途和缺陷成像中，具有普通掃描模式10倍或更長的針尖使用壽命

■減少針尖的jian端摩損

■最真實的再現樣品微觀三維形貌，減少樣品在掃描過程中的損壞或變形

Park NX20

AFM技術

低噪聲Z軸探測器

超低噪聲Z探測器，噪音水平低于0.02nm，從而達成非常jing準樣品形貌成像，

沒有邊沿過沖無須校準。 NX20為您提供好的數據同時也為您節省寶貴的時間

真正非接觸模式TM可保護針尖鋒利度

原子力顯微鏡的針尖本身很脆弱，在掃描過程中，針尖磨損會逐漸降圖片質量和分辨率。

測量表面軟的樣品時，針尖也會破壞樣品并生成不準確的樣品高度測量數據。

作為Park原子力顯微鏡zuidu特的一種掃描模式，

真正非接觸模式TM可持續獲得高分辨率且精確的數據，同時保持針尖的完整性。

Park NX20

凝聚著zui具創新的AFM技術

100 μm x μm掃描范圍的XY平板掃描器

XY平板掃描器，采用壓電堆棧設計，減少傳統掃描過程中XY的正交影響

，具有高速的影響頻率，實現精確的樣品奈米級掃描。

高速Z軸掃描器，掃描范圍達15μm

高強度壓電堆棧和饒性設計，標準Z軸掃描器的共振頻率大于9kHz(一般為10.5kHz)且探針的Z軸掃描速率不低于48mm/秒。 Z軸zui大掃描范圍可從標準的15μm擴展至30μm(長范圍Z掃描頭)。

低噪聲XYZ位置傳感器

低噪聲XYZ閉環掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。

集成編碼器的XY自動樣品載品

編碼器可用于所有自動樣品載臺，并可保證更高的重復定位精度，

從而可更精確地控制樣品測量位置。

XY馬達動工作時分辨率為1μm，重復率為2μm。

Z馬達運動的分辨率為0.1μm，重復率為1μm。

自動多點樣品掃描

借助驅動樣品臺，可編程步進掃描，多區域成像，

以下是它的工作流程：

1.掃描成像

2.抬起懸臂

3.移動驅動平臺到設定位置

4.進針

5.重新設定位置掃描成像

該自動化功能大大減少掃描過程中人工的移動樣品，從而縮短測試時間，提高生產率。

操作方便的樣品臺

獨特的頭部設計，可使用從側面操作樣品及探針，

根據所選擇樣品臺的行程范圍，用品在樣品臺上可放置的zui大樣品直徑200mm。

用于拓展掃描模式易插拔擴展槽

你只需要將可選模塊插入擴展槽，便可激活拓展掃描顯微鏡模式。

得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊化設計，其產品線的配置兼容性大大提高

同軸高功率光學集成LED照明和CCD系統

定致物鏡配有超長工作距離(50mm,0.21的數值孔徑，1.0μm的分辨率)，帶來前所未有的鏡頭清晰度。同軸光源設計讓用戶可輕易地在樣品表面找尋找測試區域，物鏡最小分辨率為0.7μm。得益于CCD的高端傳感器，在獲得較大視場的同時，但分辨率卻不受影響。由軟件控制的LED光源能為樣品表面提供足夠的照明，便于清晰觀察樣品。

掃描頭滑動嵌入式設計

你只需滑動嵌入燕尾導執便可輕松更換原子力顯微鏡掃描頭。

該設計可將掃描頭自動鎖定至預對準的位置，無須調節激光位置，

激光自動投射在針尖上。借助于鄉優異的四象限檢測器，

顯微鏡可精確成像并可準確測定力，距離曲線。

自動Z軸移動和聚焦系統

高度限行Z軸移動和聚焦系統，可以得到清晰的視野和圖像，用戶通過軟件界面進行操作，

由高精度步進電機驅動，即使液體或者透明樣品也可快速找到樣品表面。

高速24位數字電子控制器

所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進行控制和處理。

該控制器是個全數字，24位高速控制器，可確保True Non-ContactTM模式下的成像精度和速度。憑借著低噪音設計和高速處理單元，該控制器也是納米成象和精確電壓、電流測量的jue佳選擇。嵌入式數字信號處理為原子力顯微鏡帶來更為豐富的功能，更好的解決方式，是zi深研究員的zui佳選擇。

XY.Z軸檢測器的24位信號分辨率

■XY軸的最小分辨率為0.003nm (50 μm XY掃描器)

■Z軸的最小分辨率為0.001nm (50 μm Z掃描器)

嵌入式數字信號處理功能

■三個鎖相放大器

■探針彈簧系數校準(熱方法)

■數字化Q控制

集成式信號端口

■專用可編程信號輸入/輸出端口

■7個輸入端口和3個輸出端口

Park NX 20

世界上最jing準和最容易操作的AFM

簡單的探針和樣品更換

獨有的ZG設計讓您輕易地用手從側面更換新的探針和樣品。

借助安裝懸臂式探針夾頭中于預先校準的探針位置，無須再進行繁瑣的激光調節工作。

帶有兩級反饋系統的閉環XY掃描器

XY掃平板掃描器的每個軸上的低噪聲位移傳應器，

可以在進行大掃描范圍時提高樣本掃描正交性。

次級傳感器會對非線性和非平面位置錯誤進行補償，最真實的還原樣品的形貌。

閃電般快速的自動進針

自動的探針樣品進針功能能讓用戶無需進行干預操作。

通過監測懸臂接近表面的反應，Park NX20能夠在探針裝載后，十秒內自動快速完成探針進針操作。高速、軸掃描器的快速信息反饋和NX電子控制器的低噪聲信號處理使得探針無需用戶干預就能快速接觸樣品表面。

主動溫控隔音罩

專為Park NX20設計的隔音罩，主動進行溫度調節功能，保證側試環境在一個完全穩定的熱環境中。 Park NX20 還具有主動隔振功能，完全與外界的聲、光噪聲隔離，因此測試的準確性將不受到外界干擾。

■操作簡單-創新的控制設計使Park NX20能夠快速達于溫度平衡

■節省操作時間-關閉隔音罩10分鐘內可保持測試環境低于0.05°C的溫差

Park NX20

可滿足各種測試需求

Park NX20可以滿足科研工作者需要的各種掃描模式，并能滿足您的所有研究需求。

表面粗糙度測量

■真正非接觸模式

■輕敲模式

電學性能測量

■導電AFM(ULCA和VECA)

■靜電力顯微鏡(EFM)

■壓電力顯微鏡(PFM)

■掃描電容顯微鏡(SCM)

■掃描開爾文探針顯微鏡(SKPM)

■掃描電阻顯微鏡(SSRM)

■掃描隧道顯微鏡(STM)

■光電流顯微鏡(Tr-PCM)

機械性能測量

■力調制顯微鏡(FMM)

■力-距離(F-D)曲線

■力譜成像

■側向力顯微鏡(LFM)

■納米壓痕

■納米刻蝕

■相位成像

熱特性

■掃描熱感顯微鏡(SThM)

磁特性

■磁力顯微鏡(MFM)

高級選項

定制你獨有的原子力顯微鏡

自動數據收集和分析，適合工業客戶產線測量

Park的自動化控制軟件，根據你的預設程序，自動進行AFM測量。它可以準確地收集數據，執行模式識別，并使用它的尋邊器和光學模塊進行分析，不需要人工介入，為您節省測量時間。

傾斜樣品傾角夾具，可以幫助您進行樣品側壁成像

NX20的創新架構讓您可以檢測樣品的側壁和表面，并測量它們的角度。這項設計賦予了這個單位更深的靈活性，您可以做更多的創新研究和獲得更深的見解。

■傾斜角度：10°、15°和20°

■樣品尺寸：20mm x 20 mm

■樣本厚度：2mm

嵌入主動溫度控制的隔音罩可以讓您采取更精確的測量

■創新設計使系統快速達到其溫度平衡

■10分鐘內使測試環境溫差小于0.05°C

■集成式主動減震臺，優于老式的氣動平臺，減震效果更佳

閉環控制電動位移臺

■XY載臺馬達位移機械分辨為1μm，重復率為2μm

■Z向馬達位移分辨率為0.1μm，重復率為1μm

樣品盤

■專用芯片樣品盤

■真空吸附盤

■zui大200mm晶圓盤

探針夾具

■固定掃描探針

■可進行導電學性能測試

■針尖電壓：-10V~+10V

XY掃描器                  Z掃描器

■20μm x20μm                 ■15μm

■50μm x50μm                 ■30μm

■100μm x100μm

精確的溫度控制

■加熱和冷卻臺(0~180°C)

■250°C加熱臺

■600°C加熱臺

Park NX20

技術參數

掃描器

XY掃描器

閉環控制XY平板掃描器

掃描范圍：100μm x 100μm

50μm x 50μm

25μm x 25μm

20位位置控制和24位位置傳感器

Z掃描器

導向qiang力Z掃描器

掃描范圍：15μm

30μm

20位位置控制和24位位置傳感器

視場&CCD

同軸光源設計

10倍光學物鏡和數碼放大

光學物鏡視場：840μm x 630μm

CCD：5MP

光學物鏡

10X(0.21 NA)超長工作距離鏡頭的物鏡

20X(0.42 NA)高分辨率，長工作距離鏡頭的物鏡

軟件

SmartScan

專用系統控制和數據采級軟件

智能掃描模式

通過外部程序控制腳本級別(選配)

NXI

AFM數據分析軟件

電性能

信號處理

ADC:18通道

ADC通道(64MSPS)

24-bits ADC的X,Y和Z掃描器位置傳感器

DAC:12通道

ADC通道(64MSPS)

20bits DAC的X,Y和Z掃描器定位

zui大數據量:4096X4096像素

集成功能

3通道數字鎖相放大器

探針彈性系數校準(熱方法)

數據Q控制

外部信號訪問

20個嵌入式舒輸入/舒出口

5個TTL輸出：EOF,EPL,EOP,Modulation and AC bias

選項/模式

成像模式

■真正非接觸模式

■接觸模式

■側向摩擦力顯微術(LFM)

■相位成像

■輕敲模式

電學特性測量

■掃描電容顯微鏡(SCM)

■導電原子力顯微鏡

■靜電力顯微鏡(EFM)

■壓電力顯微鏡(PFM)

■掃描開爾文探針顯微鏡(SKPM/KPM)

■壓電力顯微鏡PFM

一般特性

■磁力顯微鏡(MFM)

■掃描熱感顯微鏡(SThM)

■力一距離(F-D)曲線

■掃描隧道顯微鏡(STM)

■力調制顯微鏡(FMN)

■納米壓痕

■納米刻蝕

■納米操控

選項

■樣品基座

■具有溫控性能的隔音罩

■液體探手

■液池

■溫控臺

■外部偏置模塊

■信號獲取模塊

運動位移平臺

XY行程范圍：150mm(200mm選配)

Z行程范圍：25mm

XY載臺馬達位移機械分辨率為1μm,重復率為2μm

Z向馬達位移機械分辨率為0.1μm,重復率為1μm

樣品基座

樣品zui大尺寸：150mm(200mm選配)

真空樣品吸附