配有不銹鋼密封法蘭，上面安裝有不銹鋼截止閥和機械壓力表

進氣端法蘭接口為Φ6.35卡套接頭，出氣端法蘭接口為KF25接口

法蘭密封圈采用水冷卻，使用時需要通入冷卻水，可在本公司選購循環水冷機

真空度：10E-2 torr（采用機械泵），10-E5 torr(采用分子泵)

一根鎧裝熱電偶通過左端法蘭通入到爐管內部，并與坩堝相連接(圖1)

通過步進電機驅動使坩堝移動，并和熱電偶和坩堝一起移動，實時監測樣品的溫度

進氣端法蘭轉輪式法蘭（圖2）

可同時在轉輪系統中放入4個坩堝，可交替將放入4種材料的石英坩堝自動送入到石英管中（可在真空狀態或氣氛保護狀態進行運作

通過一步進電機控制坩堝移動的速度和位置

可控制坩堝最小移動位移為1mm

坩堝最大移動距離為200mm

配有一數顯防腐型真空計

當氣壓在10mbar以上時，不需因測量氣體種類不同而進行系數轉換

對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復性

因為傳感器上鍍有涂層，所以具有較好的抗腐蝕性

測量范圍：3.8x10-5 -1125 Torr

此套設備中配有一2路混氣系統

最大輸出功率：18W

工作溫度：5-45℃

最大氣壓：3×106Pa

精度：±1%FS

質量流量計量程：

1:0-100sccm

2:1-199sccm

可根據客戶要求選購1-5路供氣系統

爐管內氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

石英管的長時間使用溫度＜1100℃

對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）