勻膠機 SM-150 是手動或半自動薄膜涂覆的zui佳選擇，適用于表面沒有或有非常矮形貌的基板涂膠作業。所有市面上的光刻膠與涂層材料都可被均勻涂覆到尺寸最大為 150mm (6”) 127x127mm (5”x5”)的基板上。工藝腔設計可滿足最大直徑為 176mm。

 SM系列的優點在于，具有令人信服的高度涂膜均勻性和工藝重復性，并且操作簡單、使用舒適。為了使花費在工藝腔清潔上的精力最小化，SAWATEC   公司開發了一種極其實用且經濟的工藝腔保護碗。工藝結束后，可以簡單地移除和清理這種保護 碗。經由如此的高品質設計，也可以將維護成本最小化。因此，SAWATEC勻膠機可被優先應用于實驗室，研發，試產項目以及研究所。

功能（基本配置）

?？删幊蹋疃?50 個程序(各包含 24 個程序段)

。適用于重復工藝的快速啟動功能

。觸摸屏面板控制，方便用戶程序配置工藝參數：轉速、加速度、工藝時間旋轉方向可選 (順時針、逆時針)

。手動裝卸基板
。通過具有安全保護的真空系統進行基板固定

。手動蓋子帶有空氣入口和閉合安全保護工藝結束時的聲音信號

性能數據

。速范圍：0 到 10,000rpm +/-1rpm

。轉速加速度：0–8,000rpm 為0.8秒/0–10,000rpm為1秒 1)

。減速度：10,000rpm-0 為2.5秒/8,000rpm-0 為0.8秒 1)

。工藝時間最長為 2376 s

。每個程序段的給膠時間為 99 s

 

附加功能（可選項）

。半自動的管式給膠系統，帶有手動給膠手臂和回吸功能的

。工藝腔的手動氮氣凈化裝置

。用于簡化操作的“啟動/停止”腳踏開關(電纜長度 1.8m)

。經陽極電鍍處理的鋁制工藝腔

。鋁制或 PE(聚乙烯)材料制成的工藝腔保護碗用于 SM-150 勻膠機的真空泵

。晶圓定位器 2”–6”(圓形)

旋轉卡盤分類

為了達成wan美涂覆效果，我們提供了不同尺寸、材料和設計的旋轉卡盤。根據用途的不同，可使用單塊結構或具有光學輔助置中功能的兩部分構成的旋轉卡盤。為避免基板背面被弄臟，有時不僅要選擇zui佳的旋轉卡盤尺寸，還要采用專門的卡盤設計。旋轉卡盤的更換過程非常簡單，不需要使用工具。

。真空卡盤小片

。真空卡盤 1” 3”(圓形)

。真空卡盤 100mm(4”) 150mm(6”)

。真空卡盤 100x100mm(4”x4”) 真空卡盤 125x125mm(5”x5”) 其他卡盤需咨詢

設計和尺寸

。桌上式版本 SM -150-BT，

。內嵌式版本 SM-150-BM

。緊湊且節省空間的結構形式

。POM(聚甲醛樹脂)材料制成的工藝碗，確保了高材料兼容性

。POM(聚甲醛樹脂)材料制成的集成式防濺環，確保無光刻膠濺出。透明蓋板：玻璃制成

。具有 3.5” 彩色顯示屏的觸摸屏面板

。高精度，高動態的交流伺服電機

。經電解拋光處理的不銹鋼外殼

。外殼(BT): 350 x 510 x 403mm (長*寬*高）

。重量(BT): 約 29kg

。安裝模塊(BM): 300 x 300 x 368mm (長 x 寬 x

。安裝面板 320 x 166 x 50mm ( 長 x  寬 x

。重量(BM): 約 20kg

接口

。230 VAC 50/60Hz 10A

。腳踏開關用插頭接口

。技術真空，軟管 ?6/4mm(-0.8bar)
。壓縮空氣或氮氣軟管?6/4mm(3bar) (僅 限于和給膠系統配合使用)

。排放接口 ?12mm

。BT 廢氣接口 ?38mm(20–50m3/h) BM 廢氣接口 ?25mm(20–50m3/h)