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超聲霧化旋轉涂膜機,噴膠機

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詳細介紹

VTC-300USS超聲霧化旋轉涂膜機,噴膠機可以精 確控制溶液化學計量比、霧粒噴出速度、霧粒大小等參數。VTC-300USS超聲霧化旋轉涂膜機,噴膠機采用步進電機和微處理器控制容積泵精確輸送溶液(溶液可以選擇被加熱或不被加熱);霧化器被固定在可擺動的支撐臂上,從而確保涂層的均勻性,通過超聲波霧化器噴出的霧狀顆粒在基片上沉積作用,可以制備厚度較薄的微納米涂層;VTC-300USS超聲霧化旋轉涂膜機,噴膠機可吸附的基片直徑可長達12"(300mm),同時可控制基底溫度使薄膜快速烘干(選擇可加熱襯底的烘烤燈),以滿足實驗需要。·超聲霧化法是將溶液霧化后噴涂到基體上,從而得到想要的物質結構,可選配上部加熱烘烤結構。此種材料制備方法特別適用于沉積氧化物,而且在制備透明電極的應用中已有相當長的歷史。現在這種方法在制備鈣鈦礦型太陽能電池中得廣泛應用。
·結合旋轉和噴涂的優點,能夠實現在大基材上密集均勻的液相涂層
·應用包括低溫沉淀(例如用于射頻/微波鐵氧體沉積)、聚合物涂層、粉末和復合材料涂層以及圖案化/不均勻基板上的涂層
·該系統還可以在單獨旋轉和單獨噴涂模式下工作

產品名稱 VTC-300USS超聲霧化旋轉涂膜機,噴膠機
產品型號
VTC-300USS
安裝條件 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:不需要
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:不需要
4、工作臺:占地面積2m2以上
5、通風裝置:需要
主要參數 1、輸入電源:208V-240V 50Hz/60Hz

2、旋轉涂膜模塊
·基片直徑200mm,轉速可高達5000rpm;基片直徑300mm,轉速可高達3000rpm。
·真空吸盤,帶可調節的基板支架,用于固定直徑達12"或8"見方的平板基板
·包括一個用于真空吸盤的無油泵,由旋涂機控制
·出于安全考慮,對于大于8"的晶圓,建議將速度限制在2000 rpm


3、超聲霧化模塊及使用液體要求
·顆粒大小: 10um-20um
·流量大小: 0.6pl~4ml/min
·固體含量: ≤ 10%
·粘度大小: ≤ 100cPs
·包括一個超聲波發生器,帶有兩個含壓縮空氣推進器的超聲波噴嘴
·包括兩個帶有KF-25適配器的噴嘴。(點擊右起DY張圖片查看詳情)
* 一個圓柱形 -- 更窄的噴霧直徑 ~20 mm
* 一個錐型 -- 更寬的噴霧直徑 ~40 mm
·水溶液的推薦壓縮空氣壓力:~2 psi
·集成流量計,用于調節和監測壓縮空氣流量
·流體粘度范圍:1 - 50 mPa·s(cP)
·內置一個用于安裝超聲波噴頭的擺臂,速度和運動范圍可調
·可根據要求提供低成本壓縮氣體霧化噴嘴

(可選氣嘴)

4、注液系統
本司提供多種形式的供液系統(單路、多路、加熱等)
·注液速度:0.1mm/min-45mm/min
·注射器行程設置范圍:0.001mm-120mm
·包括一個帶LCD觸摸屏控制的可加熱注射泵,用于將液體輸送到超聲波噴嘴
·隨附一個 20mL注射器,可立即使用。該裝置可容納直徑為 0.4 - 30 mm 的注射器
抽速:0.001 - 20mm/min,可調
·內置30段可編程溫度控制器的柔性聚酰亞胺加熱器,可加熱至75℃


序號 名稱 數量 圖片鏈接
1

旋轉機構

1套

-

2

超聲霧化電源+霧化噴頭

1套

-
3

單路供液系統

1套

-
4

無油泵

1臺

-

序號
名稱
功能類別
圖片鏈接
1

多路(可加熱)供液系統,烘干裝置等

(可選)
-
2

加熱燈及控制
雙加熱燈(ZD功率1000 W,ZG 80oC)帶熱電偶和溫度控制器,通過輻射為基板加熱(使用12" 金屬基板時,ZG可加熱至65oC)

(可選)

3

建議您將旋涂機放在通風櫥內,以解決健康和安全問題

(可選)

4

壓縮氣體霧化噴嘴可使用NRTL認證

(可選)

5

可根據要求提供定制的多噴頭

(可選)

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