Syskey 緊湊式濺射系統(tǒng) Compact Sputter
 
占地面積緊湊的濺射系統(tǒng)，可放置在1平方米以內(nèi)的區(qū)域。盡管設(shè)計(jì)緊湊，其主要功能與我們標(biāo)準(zhǔn)的高 真空濺射系統(tǒng)幾乎相同。全自動(dòng)操作和配方運(yùn)行模式可支持最 基礎(chǔ)的應(yīng)用。
 

配置與優(yōu)勢(shì)：
 
- 靈活的基板尺寸，最 大可達(dá)6英寸
- 基板架加熱溫度最 高可達(dá)500℃
- 出色的薄膜均勻性，誤差小于±3%
- 最 多可配備5個(gè)6英寸磁控濺射源（可選配3或4個(gè)）
- 支持射頻、直流或脈沖直流電源
- 最 多可支持3條氣體管路
- 支持順序沉積和共沉積
- 可選配負(fù)載鎖定腔室