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Syskey RIE 反應(yīng)離子刻蝕機
- 品牌：SYSKEY
- 產(chǎn)地：臺灣 臺北
- 供應(yīng)商報價：面議
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深圳市藍星宇電子科技有限公司
更新時間：2025-07-25 10:32:41 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品Syskey 臺灣(3件)
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產(chǎn)品特點
- Syskey RIE 反應(yīng)離子刻蝕機，用于氧化物和氮化物蝕刻的 RIE 系統(tǒng)。氣體管線可實現(xiàn)硅基材料刻蝕。全自動作，支持一鍵工序。
詳細介紹
Syskey RIE 反應(yīng)離子刻蝕機
用于氧化物和氮化物蝕刻的 RIE 系統(tǒng)。CF4 , CJF3 、S2F6, Ar, O2氣體管線可實現(xiàn)硅基材料刻蝕。全自動作，支持一鍵工序。
配置和優(yōu)勢：
? 靈活的基板尺寸可達 12 英寸
? 基板支架水冷
? 優(yōu)異的薄膜均勻性，低于 ±5%
? 6 條反應(yīng)性氣體管路，適用于 蝕刻
? 使用選定的靶材蝕刻多層薄膜
? 負載鎖定是可選的
? 終點檢測器是可選的
? 背氦冷卻是可選的系統(tǒng)鍵
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