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1200度 CVD管式燒結爐

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1200度 CVD管式燒結爐 核心參數
穩定性 控溫精度:±1 最高溫度 1200℃

產品特點

NBD-CVD1200系列一體機可以實現真空高溫化學氣相沉積,適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等試驗。

詳細介紹

設備簡介:

NBD-CVD1200系列一體機采用國際先進制造工藝,從美學藝術角度出發根據人體安全的角度設計,控制系統采用先進的PLC+觸摸屏操控系統,操作更加簡單方便。溫度控制采用先進的PID模糊控制,使控溫精度保持在±1℃。適用于高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等試驗。     

 

 

設備簡介:

1.爐體與控制系統集成一體化,使試驗方便快捷直觀。

2.配有多路質量流量計混氣氣路,可以單獨設置氣體流量。

3.精確PID程序多段控制,實現不同工藝多段溫度時間監控。

4.爐襯采用高純氧化鋁輕質纖維材料,保溫效果好。

5.配備機械泵和分子真空泵,可以實現高真空條件。

產品型號

NBD-O1200-50TID2Z

爐管直徑

Φ50、φ60、φ80、φ100   (可自選)

工作溫度

≤1100℃

溫區選擇

單溫區

雙溫區

三溫區

加熱區尺寸

440mm

200mm + 200mm

200mm + 400mm + 200mm

電器規格

AC220V 4KW

AC220V 5KW

AC220V 8KW

升溫速率

建議 10℃/min

控制系統

 

氣體系統(可選購)

流量計類型

浮子流量計

質量流量計

管道示意圖

 

進氣接口數量

2、3、4(多路可選)

流量范圍

20-250/20-800ml/min(多量程可選)

50/100/200sccm(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統(可選購)

真空泵型號

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽氣速率

1L/s

3L/s

4L/s

進排氣口尺寸

Φ8mm寶塔接頭

Φ8mm寶塔接頭

KF16/25

極限壓力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規格

AC220V

高真空系統(可選購)

真空泵型號

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽氣速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空測量計

復合真空計

極限壓力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

* 支持非標定做,更多型號,歡迎來電垂詢。

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