SEMICON China 2021將于2021年3月17-19日在上海新國際博覽ZX舉辦，珀金埃爾默公司作為半導(dǎo)體行業(yè)分析檢測設(shè)備和技術(shù)的領(lǐng)先供應(yīng)商之一，將攜解決方案和多款儀器亮相。

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半導(dǎo)體行業(yè)檢測解決方案簡介

珀金埃爾默半導(dǎo)體行業(yè)無機元素與納米顆粒檢測方案

在半導(dǎo)體器件和化學(xué)品制造的分析中，痕量元素雜質(zhì)的控制對于性能具有至關(guān)重要的作用，甚至影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的良品率。半導(dǎo)體制造商需要在整個制造過程中擁有檢測超痕量污染物的能力，包括晶圓、超純水、化學(xué)試劑、光刻膠、電子特氣、封裝材料等。半導(dǎo)體工藝的進(jìn)步，對元素雜質(zhì)和微粒污染物檢測能力提出了更高的要求。

珀金埃爾默提供的NexION^? 5000 化學(xué)高分辨多重四極桿ICP-MS，熱等離子體條件下可實現(xiàn)半導(dǎo)體必須元素低于1ppt（SEMI F63-0918) 的背景等效濃度。同時，該儀器可以升級，以滿足SEMI S2和S8標(biāo)準(zhǔn)。NexION系列ICP-MS可設(shè)置低至10μs的信號讀取時間，高精度測定拋光材料中懸浮金屬納米粒子的顆粒濃度、尺寸大小和分布信息，為光刻過程保駕護(hù)航。

珀金埃爾默半導(dǎo)體行業(yè)有機物檢測方案

半導(dǎo)體行業(yè)中使用的有機化合物的純度雜質(zhì)影響到相關(guān)產(chǎn)品的質(zhì)量。珀金埃爾默公司Clarus^? SQ8氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用儀具有準(zhǔn)確的定性能力和優(yōu)異的定量精度，是分析有機試劑純度和雜質(zhì)的主要分析設(shè)備。

半導(dǎo)體行業(yè)使用的有機試劑也會產(chǎn)生相應(yīng)的揮發(fā)性有機物，對生產(chǎn)和環(huán)境造成污染，包括AMC、VOCs等。珀金埃爾默公司熱脫附儀與氣相色譜質(zhì)譜聯(lián)用，可實現(xiàn)潔凈室或生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)空氣的在線或離線采集進(jìn)樣，并檢測出低濃度（<ppb）的有機污染物。

珀金埃爾默半導(dǎo)體行業(yè)材料組份檢測方案

針對半導(dǎo)體行業(yè)的IC封裝、顯示面板、光伏電池、光學(xué)薄膜等領(lǐng)域，珀金埃爾默公司憑借先進(jìn)的傅里葉變換紅外光譜儀、紅外顯微鏡、紫外可見近紅外分光光度計、差示掃描量熱儀、熱機械分析儀等產(chǎn)品，一如既往為客戶提供全面的解決方案，可用于測定固化率、固化熱、熱膨脹系數(shù)、透光率、反射率、微觀污染物、成分濃度等。

半導(dǎo)體行業(yè)檢測技術(shù)研討會

2021年3月17日（周三）下午13:30-16:50

上海新國際博覽ZXN3館M43會議室

（上海市浦東新區(qū)龍陽路2345號）

珀金埃爾默展臺

期待您蒞臨展位參觀儀器、現(xiàn)場交流，現(xiàn)場簽到還可領(lǐng)取精美禮品！

展位號：T3337