OPTM 系列顯微分光膜厚儀使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過(guò)JD反射率進(jìn)行測(cè)量，可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。

●與產(chǎn)線的控制信號(hào)同步

可以測(cè)量0.01%或更低的單線態(tài)氧的產(chǎn)生量子產(chǎn)率。

測(cè)量精度高

薄膜到厚膜的測(cè)量范圍

●全面高速高精度進(jìn)行薄膜等面內(nèi)膜厚不均一性檢測(cè)

●采用線掃描方式檢測(cè)整面薄膜

●通過(guò)分光光度分布對(duì)紫外光進(jìn)行高精度測(cè)量

●該檢測(cè)器是一種高性能的分光光度計(jì)，在光源測(cè)量、反射/透射測(cè)量、過(guò)程測(cè)量等方面取得了多項(xiàng)成果。

●具有高靈敏度檢測(cè)器的寬測(cè)量范圍

采用了偏光光學(xué)系和多通道分光檢出器

●可在紫外和可見(jiàn)（250至800nm）波長(zhǎng)區(qū)域中測(cè)量橢圓參數(shù)

nanoSAQLA是一臺(tái)通過(guò)動(dòng)態(tài)光散亂法（DLS法）測(cè)量粒徑（粒徑0.6nm~10um）的裝置。支持從稀薄到濃厚系廣泛濃度范圍內(nèi)的多檢體測(cè)定的新光學(xué)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了實(shí)驗(yàn)室必需的輕量、小型化、標(biāo)準(zhǔn)1分鐘的高...