可應(yīng)用于精密加工元件(包括各種尺寸的光學(xué)鏡頭、鏡面及金屬加工件)的面形以及中頻和高頻粗糙度測量。并可用于各種材料納米尺度精測，包括晶圓、高分子材料、二維材料等。