四探針測試儀安全操作規程
四探針測試儀是根據單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國ASTM標準而設計的,專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
四探針測試儀操作規程:
1.接上電源,開啟主機,此時"Rn"和"I”指示燈亮。預熱約5分鐘。
2.檢查工作條件:工作溫度23+2°C ,相對濕度為65% ,滿足以.上條件方可進行下面操作。
3.根據硅片的直徑厚度以及探針的修正系數,計算出所測硅片和標準樣片的電流值。
4.取下測頭保護罩,用酒精棉球擦拭測頭及工作平臺。
5.根據每個合同所要求電阻率值的范圍,按說明書選擇電流量程。
6.用標準樣片對測試儀進行校正,在硅片中心處至少檢測3點,其.平均值和標準樣片電阻值進行比較,差值在1.5%之內,即可進行檢測。
7.將已噴砂好的硅棒或者表面潔凈的硅片放入探針架測試臺面中心位置進行測試。
8.探針壓在硅棒/片端面.上的中心點,十點法要求對.上、下端面測量，測量值穩定此時讀取顯示屏顯示的電阻率值,并記錄測量值。如果有軸向測試要求,則將硅棒軸向端面進行打磨后測試軸向電阻率。
9.若測量過程中,顯示屏出現測量值波動不穩定,*出偏差范圍停止工作,檢查室溫、硅棒測量面、及顯示器是否出現異常。
10.整批測量完成,探針加上護罩,升降架下降到測量臺面.上方5cm-8cm處。關閉電源開關。
四探針測試儀采用了* 新電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。
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