原子熒光光譜儀是20世紀60年代中期提出并迅速發展起來的一種新型光譜分析方法，是原子光譜法中的一個重要分支。它是一種基于測量原子蒸氣吸收特定輻射被激發后去激發所發射出的特征譜線強度進行定量的元素痕量分析方法。

1964年，Winefordner和Vickers等人提出并論證了原子熒光光譜法可作為一種新的化學分析方法。自20世紀70年代以來，國內外許多專家、學者、企業共同致力于原子熒光光度計的研制和開發。

美國Technicon公司于1976年生產出世界上**臺原子熒光光譜儀AFS-6，它采用脈沖調制空心陰極燈做光源，以計算機做控制和數據處理，能同時測定6個元素。20世紀80年代初，美國Baird公司研制出AFS-2000型多通道無色散原子熒光光度計，它采用電感耦合等離子體（ICP）做原子化器，可12道同時檢測。此后，國外原子熒光光度計的發展非常慢。直到1993年，才有英國PSA公司生產的蒸汽發生-無色散原子熒光光譜儀，它能同時檢測AS、Sb、Bi、Hg、Se、Te等6種元素。90年代末，加拿大Aurora公司推出一款氫化物發生-無色散原子熒光光度計（HG-AFS）。21世紀初，美國Leeman Labs公司和德國Analytik Jena公司分別研制并推出原子熒光測汞儀。

我國從20世紀70年代中期開始研制原子熒光光譜儀，原子熒光光度計技術及其商品化儀器在我國得到飛速發展的普及推廣。1975年，西北大學研制出以低壓汞燈做光源的冷原子熒光測汞儀；同時，中科院上海冶金研究所研制出用高強度空心陰極燈做光源、氮隔離空氣-乙炔火焰做原子化器的雙通道無色散原子熒光光度計。1979年，西北有色地質研究院成功研制了以溴化物無極放電燈做激發光源的原子熒光光譜儀，為原子熒光光譜儀在我國程工實現商品化奠定了重要基礎；該院隨后研制開發了WYD、XDY-1等雙通道原子熒光光度計。1987年，劉明鐘等人成功研制了脈沖供電特制空心陰極燈，這種高性能激發光源為原子熒光光譜儀在我國的普及推廣創造了條件；在此基礎上研制生產的XDY-2無色散HG-AFS以屏蔽式高溫石英爐作為原子化器，手動進樣、雙通道同時檢測、微機控制，堪稱是我國原子熒光光譜儀發展史上具有里程碑意義的儀器。1996年我國推出了**款全自動氫化物發生-原子熒光光度計，采用斷續流動進樣裝置，實現了氫化物發生反應的自動化，隨著后續多款經典原子熒光光譜儀的研制成功和推廣使用，使得我國原子熒光光度計的研制和應用水平，一直處于國際領xian地位。

近年來，隨著環境科學、生命科學等領域對元素形態和價態分析的要求，原子熒光聯用技術，特別是與色譜的聯用，已成為原子熒光光譜儀分析研究的熱點。