四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備，該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的專用儀器。

       四探針測試儀操作流程和測試步驟：

       1.使用前期準備--測試前準備工作：

       1.1.開機預熱：將220V電源插頭插入電源插座，打開電源開關，讓儀器預熱15分鐘，保證測試數據穩 定。若測試儀無法正常啟動，請按以下步驟檢查：

       ①檢查電源線是否接觸良好；

       ②檢查后面板上的電源開關是否已經打開

       ③檢查保險絲是否熔斷，如有必要，請更換保險絲

       如經上述檢查無誤后，測試儀仍未正常啟動，請本公司進行解決。

       1.2.準備好被測物，鏈接好測試探頭，把測試探頭接口與主機接口相連接，并鎖定，防止松動或接觸不良而對測試結果造成影響. 

       1.3.接通電源，開啟電源開關，待儀器液晶顯示屏上顯示出廠家和產品信息后，如圖3，按“顯示”鍵進入， 

       1.4.進入測試功能界面如圖4、圖5；如測試方阻時，請選擇液晶顯示屏又側對應 的功能按鍵“方阻”，則進入方阻測試界面；如測試其他材料時，請選擇“材料”則進入材料電阻，電阻率，電導率測試儀界面。 

       1.5.設置好被測物所需之參數，把被測物放于測試治具平臺上操作，測試完畢直接顯示測試數據。如配置軟件，軟件操作說明書同安裝軟件在一起，請注意查看操作步驟. 

       以下分別講解方阻和材料測試的設置

       2.四探針雙電方阻測試步驟

       2.1.上述步驟中1項，使用前期準備

       2.2 把被測物測試所需要之參數數據設定：

       2.2.1依據不同之測試樣品，選擇被測試電流，電流設置：按方向鍵移動光標至“電流”功能，按“設置”鍵進入；再按“左右”方向鍵選擇電流數據，選擇完畢后按“確定”鍵進行確認。按照以上步驟和方法選擇電壓、長度單位、探針形狀設定、溫度.

       2.2.2.探針間距數據的輸入，探針間距出廠時已經標定，無需再次測量，探針頭上有詳細的探針數據資料，探針間距的設置：將光標移動至“探針間距”按“設置”鍵進入，通過面板上面的“數字”按鍵輸入數據按“確定”鍵進行確認；按照以上方法和步驟設定”厚度“，注意厚度和探針間距修正系數表已經設置在儀器程序中，自動修正，無需再次輸入和查詢表格。

       2.3.四探針測試儀測試探頭和測試平臺操作

選配測試平臺的將被測物放在測試平臺上，調節探頭探針與樣品良好接觸，探頭有二種，一種是探針是彈簧針型，一種是硬針而探頭內腔有彈簧；探頭有方型和直線型兩種結構；調節測試平臺上的水平定位角，保證水平儀水準在中心位置；放置好被測物品，后壓下探頭至被測物，帶數據穩定后讀取.