在多數情況下，為明確不同參數之間的關聯性，樣品分析通常需要借助多種技術手段。美國Quantum Design研發推出的AFM/SEM二合一顯微鏡——FusionScope將原子力顯微鏡（AFM）、掃描電子顯微鏡（SEM）等多種技術深度融合，能夠輕松地揭示來自同一目標區域樣品的不同特性。近期，Quantum Design在設備原有功能之上，全新研發引入了能量色散射線光譜（EDS/EDX）。通過平臺特有的統一坐標系，系統可提供AFM-SEM-EDS原位相關解決方案，對半導體行業，材料制造，地球科學，生命科學以及制藥行業等領域都具有潛在應用價值。
AFM/SEM二合一顯微鏡-FusionScope
AFM-SEM-EDS原位相關功能配備了基于硅漂移探測器（SDD）的X射線探測器，為記錄單個光譜和元素圖提供了高能量分辨率。其電子阱具有優化幾何形狀，能夠提高X射線收集效率，并最大限度地減少雜散射場。該系統能夠進行原位AFM-SEM-EDS測量，在創建高分辨率地形圖像的同時，還可以識別感興趣區域中的元素組成。這為廣大科研人員提供了克服異位相關性挑戰的巨大潛力，大大減少了時間和錯誤，同時以多種模式提供了高分辨率信息。
AFM/SEM二合一顯微鏡-FusionScope樣品腔示意圖。結合AFM-SEM-EDS與高達80°傾斜的耳軸。側向視野提供了一個獨特的角度來觀察AFM及其相互作用。
黃銅樣品的SEM-AFM相關圖像。SEM測量顯示了表面在橫向尺寸上的高分辨率視圖，AFM繪制了表面的高度變化圖。感興趣區域的SEM圖像，a)加速電壓7.5kV，2000x2000像素；b)AFM-SEM關聯圖像，增加了AFM圖像透明度；c)AFM圖像透明度為0。
感興趣區域的AFM測量，a)為動態模式下20 μm x 20 μm的形貌掃描，像素為1000x1000；b)同一次測量中的相位圖。
SEM-EDS技術揭示了感興趣區域的元素組成，a),b),c)分別為Cu、Zn和Fe的單獨元素映射。圖d)為該區域在15kV下的SE測量值；e)是添加了透明度的三種元素的疊加圖，像素200x200，視場為50 μm；f)為AFM與EDS-Fe的疊加圖。
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