
- 2025-02-28 19:22:58自動控制技術實驗平臺
- 自動控制技術實驗平臺是集成多種自動化控制元件與系統的實驗裝置,用于教學、科研及工程訓練。它通常包括傳感器、執行器、控制器及被控對象等模塊,可模擬實際工業控制場景。用戶可通過編程或組態軟件設計控制算法,實現閉環控制、過程控制等功能。該平臺有助于學習者深入理解自動控制原理,掌握現代控制工程技術,提升解決復雜控制問題的能力。
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自動控制技術實驗平臺相關內容
自動控制技術實驗平臺資訊
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- 預算177萬元 電子科技大學 采購自動控制技術實驗平臺
- 電子科技大學自動控制技術實驗平臺采購項目 招標項目的潛在投標人應在四川中澤盛世招標代理有限公司網站(http://www.sczzss.cn/)獲取招標文件,并于2025年03月20日 10點00分(
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- 實驗平臺-量子光學實驗平臺
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自動控制技術實驗平臺問答
- 2022-11-18 16:15:48反應離子刻蝕技術
- 反應離子刻蝕概述:反應離子腐蝕技術是一種各向異性很強、選擇性高的干法腐蝕技術。它是在真空系統中利用分子氣體等離子來進行刻蝕的,利用了離子誘導化學反應來實現各向異性刻蝕,即是利用離子能量來使被刻蝕層的表面形成容易刻蝕的損傷層和促進化學反應,同時離子還可清除表面生成物以露出清潔的刻蝕表面的作用。主要用于Si、SiO2、SiNx、半導體材料、聚合物、金屬的刻蝕以及光刻膠的去除等,廣泛應用于物理,生物,化學,材料,電子等領域。 工作原理:通常情況下,反應離子刻蝕機的整個真空壁接地, 作為陽極, 陰極是功率電極, 陰極側面的接地屏蔽罩可防止功率電極受到濺射。要腐蝕的基片放在功率電極上。腐蝕氣體按照一定的工作壓力和搭配比例充滿整個反應室。對反應腔中的腐蝕氣體, 加上大于氣體擊穿臨界值的高頻電場, 在強電場作用下, 被高頻電場加速的雜散電子與氣體分子或原子進行隨機碰撞, 當電子能量大到一定程度時, 隨機碰撞變為非彈性碰撞, 產生二次電子發射, 它們又進一步與氣體分子碰撞, 不斷激發或電離氣體分子。這種激烈碰撞引起電離和復合。當電子的產生和消失過程達到平衡時, 放電能繼續不斷地維持下去。由非彈性碰撞產生的離子、電子及及游離基(游離態的原子、分子或原子團) 也稱為等離子體, 具有很強的化學活性, 可與被刻蝕樣品表面的原子起化學反應, 形成揮發性物質, 達到腐蝕樣品表層的目的。同時, 由于陰極附近的電場方向垂直于陰極表面, 高能離子在一定的工作壓力下, 垂直地射向樣品表面, 進行物理轟擊, 使得反應離子刻蝕具有很好的各向異性。所以,反應離子刻蝕包括物理和化學刻蝕兩者的結合。 刻蝕氣體的選擇對于多晶硅柵電極的刻蝕,腐蝕氣體可用Cl2或SF6,要求對其下層的柵氧化膜具有高的選擇比。刻蝕單晶硅的腐蝕氣體可用Cl2/SF6或SiCl4/Cl2;刻蝕SiO2的腐蝕氣體可用CHF3或CF4/H2;刻蝕Si3N4的腐蝕氣體可用CF4/O2、SF6/O2或CH2F2/CHF3/O2;刻蝕Al(或Al-Si-Cu合金)的腐蝕氣體可用Cl2、BCl3或SiCl4;刻蝕W的腐蝕氣體可用SF6或CF4;刻蝕光刻膠的腐蝕氣體可用氧氣。對于石英材料, 可選擇氣體種類較多, 比如CF4、CF4+ H2、CHF3 等。我們選用CHF3 氣體作為石英的腐蝕氣體。其反應過程可表示為:CHF3 + e——CHF+2 + F (游離基) + 2e,SiO 2 + 4F SiF4 (氣體) + O 2 (氣體)。SiO 2 分解出來的氧離子在高壓下與CHF+2 基團反應, 生成CO ↑、CO 2↑、H2O ↑、O F↑等多種揮發性氣體。對于鍺材料、選用含F 的氣體是十分有效的。然而, 當氣體成份中含有氫時, 刻蝕將受到嚴重阻礙, 這是因為氫可以和氟原子結合, 形成穩定的HF, 這種雙原子HF 是不參與腐蝕的。實驗證明, SF6 氣體對Ge 有很好的腐蝕作用。反應過程可表示為:SF6 + e——SF+5 + F (游離基) + 2e,Ge + 4F——GeF4 (揮發性氣體) 。 設備:典型的(平行板)RIE系統包括圓柱形真空室,晶片盤位于室的底部。晶片盤與腔室的其余部分電隔離。氣體通過腔室頂部的小入口進入,并通過底部離開真空泵系統。所用氣體的類型和數量取決于蝕刻工藝;例如,六氟化硫通常用于蝕刻硅。通過調節氣體流速和/或調節排氣孔,氣體壓力通常保持在幾毫托和幾百毫托之間的范圍內。存在其他類型的RIE系統,包括電感耦合等離子體(ICP)RIE。在這種類型的系統中,利用RF供電的磁場產生等離子體。雖然蝕刻輪廓傾向于更加各向同性,但可以實現非常高的等離子體密度。平行板和電感耦合等離子體RIE的組合是可能的。在該系統中,ICP被用作高密度離子源,其增加了蝕刻速率,而單獨的RF偏壓被施加到襯底(硅晶片)以在襯底附近產生定向電場以實現更多的各向異性蝕刻輪廓。 操作方法:通過向晶片盤片施加強RF(射頻)電磁場,在系統中啟動等離子體。該場通常設定為13.56兆赫茲的頻率,施加在幾百瓦特。振蕩電場通過剝離電子來電離氣體分子,從而產生等離子體 。在場的每個循環中,電子在室中上下電加速,有時撞擊室的上壁和晶片盤。同時,響應于RF電場,更大質量的離子移動相對較少。當電子被吸收到腔室壁中時,它們被簡單地送到地面并且不會改變系統的電子狀態。然而,沉積在晶片盤片上的電子由于其DC隔離而導致盤片積聚電荷。這種電荷積聚在盤片上產生大的負電壓,通常約為幾百伏。由于與自由電子相比較高的正離子濃度,等離子體本身產生略微正電荷。由于大的電壓差,正離子傾向于朝向晶片盤漂移,在晶片盤中它們與待蝕刻的樣品碰撞。離子與樣品表面上的材料發生化學反應,但也可以通過轉移一些動能來敲除(濺射)某些材料。由于反應離子的大部分垂直傳遞,反應離子蝕刻可以產生非常各向異性的蝕刻輪廓,這與濕化學蝕刻的典型各向同性輪廓形成對比。RIE系統中的蝕刻條件很大程度上取決于許多工藝參數,例如壓力,氣體流量和RF功率。 RIE的改進版本是深反應離子蝕刻,用于挖掘深部特征。
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- 2024-10-28 15:39:48便攜式色譜儀有哪些基本原理和技術?
- 一、便攜式色譜儀的基本構造與原理便攜式色譜儀是一種集成化高、結構緊湊的分析儀器,能夠快速檢測樣品中的化合物。它通常由進樣系統、色譜柱、檢測器和數據處理系統等部分組成。設備通過氣體或液體將樣品帶入色譜柱中二、便攜式色譜儀的應用領域環境監測在環境保護方面,便攜式色譜儀被廣泛用于檢測空氣、水體和土壤中的污染物。其快速的檢測速度和便攜的特性,使得工作人員可以在污染源頭直接獲取數據,及時發現問題,避免污染物進一步擴散。食品安全檢測在食品安全領域,便攜式色譜儀主要用于檢測食品中的農藥殘留、添加劑以及其他有害物質。設備不僅可以在現場檢測,提高檢測效率,減少運輸樣品帶來的時間延遲,同時保證樣品的原始狀態,提升檢測結果的準確性。醫藥行業應用 醫藥行業對化學成分的精確分析需求很高,便攜式色譜儀能夠在現場快速分析藥品中的有效成分和雜質含量,提高藥品研發、生產及質量檢測的效率。便攜式色譜儀在臨床診斷中也得到了應用,幫助醫生進行即時的藥物代謝分析,為臨床決策提供數據支持。圖片中展示了儀器在醫藥實驗室和醫療現場的應用場景,直觀展現了便攜式色譜儀的多樣化用途。化工行業的質量控制化工企業中,便攜式色譜儀能夠實時監測生產流程中的化學成分,保證產品質量的一致性。便攜式色譜儀的快速響應能力,使得企業可以在短時間內完成質量檢查三、便攜式色譜儀在使用中的優勢便攜式色譜儀與傳統的臺式色譜儀相比,具有無可替代的優勢。其便攜性使得設備可以用于多種現場分析需求,如緊急事故、流動檢測等。由于其集成化設計,便攜式色譜儀的操作更為簡單,通常只需經過短時間培訓即可上手。便攜式色譜儀還具備快速檢測的能力,有助于減少傳統實驗室檢測所需的等待時間,極大提升了效率。其小型化的結構不需要復雜的電源支持,通常由電池驅動,適合長時間戶外使用。四、便攜式色譜儀選購與使用建議對于用戶來說,選擇合適的便攜式色譜儀至關重要。要根據具體需求選擇合適的色譜柱和檢測器,確保設備能夠高效分離和檢測目標化合物。應關注設備的檢測精度、響應時間和電池續航能力,保證儀器在不同環境下的可靠性。
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- 2023-07-03 13:26:49纖維素測定儀技術特點
- 纖維素測定儀技術特點: 1.可同時處理3個樣品 2.樣品量:0.5-3g 3.重現性:
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- 2020-04-09 15:16:48凍干機的節能和自動控制技術分析
- 在凍干機的長期運行中,其制冷壓縮機必然持續排出大量的熱量,而冷阱盤管上所凝華的冰也必然需要大量的熱量來融化后排放出;同時,根據需求,很多都具有熱媒循環系統和在位蒸汽滅菌功能,而熱媒循環系統在必要時需要加熱,在位蒸汽滅菌運行中或結束后又需要排出大量的蒸汽。 目前,國內外常用的凍干機有多種,而目前應用更廣泛的則是含有制冷系統、融霜系統、熱媒循環系統及蒸汽排放系統的凍干機,其制冷系統主要含有制冷壓縮機、冷凝器、節流閥、冷阱盤管,融霜系統主要含有融霜閥、冷阱及冷阱排出閥,其熱媒循環系統主要含有循環泵、電加熱器、制冷換熱器、擱板、儲液器,蒸汽排放系統主要含有箱體、冷阱、及箱蒸汽排出閥、阱蒸汽排出閥。 熱氣回收利用節能措施,其制冷系統中壓縮機排出的是含有很高熱量的高溫高壓蒸汽,通過冷凝器將熱量排掉;熱媒循環系統在需要升溫或補充熱量時,通過電加熱器進行加熱;蒸汽排放系統在需要排出蒸汽時,打開箱蒸汽排出閥和阱蒸汽排出閥,將蒸汽排放;冷阱需要融霜時,打開融霜系統的融霜閥,向冷阱內放入融霜水或融霜蒸汽,將冷阱盤管上的冰溶解,較后通過冷阱排出閥將冷阱內的水排出冷阱。 而且自動控制先要根據凍干曲線和設備運行時序用PC機編制一個凍干程序或周期,然后選定該周期投入運行,設備便可進行自動控制了。不同廠家生產的設備編程方法是各不相同的,即使同一廠家生產的設備由于配置,不同和產品的不斷改進,也不完全相同,因此在使用前用戶都需要對其有一定的了解。
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- 2025-03-06 13:15:15濟南防腐蝕流量計制造有哪些技術特點?
- 濟南防腐蝕流量計制造:質量與技術的結合 隨著工業自動化水平的不斷提高,流量計作為測量和控制流體流量的重要工具,在眾多行業中扮演著至關重要的角色。尤其是在一些需要防腐蝕性能的特殊環境下,防腐蝕流量計的應用越來越廣泛。濟南作為中國流量計制造的重鎮,其防腐蝕流量計的制造技術日臻成熟,成為國內外市場的重要供應來源。本文將深入探討濟南防腐蝕流量計制造的技術優勢、市場需求及其在多個行業中的應用。 防腐蝕流量計的技術優勢 防腐蝕流量計是專為高腐蝕性介質設計的流量測量儀器,通常用于石油、化工、制藥、電力等行業。濟南的防腐蝕流量計制造商采用了先進的材料技術和精密的制造工藝,確保儀器的穩定性和準確性。防腐蝕流量計主要通過特殊的涂層、密封材料和耐腐蝕合金來抵御惡劣環境中的化學腐蝕,保證其長期可靠運行。 濟南防腐蝕流量計制造商在產品設計上注重實用性與創新性的結合,采用了高性能的流量傳感器和智能化的電子模塊,使得流量計不僅具有較強的抗腐蝕性能,還能夠提供高精度、高穩定性的流量測量結果。濟南廠商還根據不同客戶的需求,提供定制化的防腐蝕流量計解決方案,以滿足各行業的特殊要求。 市場需求的持續增長 近年來,隨著環保意識的增強和對生產工藝要求的提高,防腐蝕流量計的市場需求逐漸增大。特別是在石油、天然氣、化工等行業,由于使用的原材料和流體介質具有高度腐蝕性,對流量計的要求更為嚴格。這使得濟南的防腐蝕流量計制造商憑借其成熟的技術積累和先進的生產設備,迅速占領市場并成為行業領軍者。 除了傳統行業,隨著新能源和環保產業的崛起,新的應用場景也對防腐蝕流量計提出了新的需求。例如,在氫氣、天然氣、化學品等高腐蝕性介質的運輸與儲存過程中,對流量計的防腐蝕性能提出了更高要求。濟南防腐蝕流量計制造商積極響應市場變化,不斷創新,研發出了適應不同工作環境的新型流量計,滿足了各行業的高精度、高性能需求。 濟南防腐蝕流量計的廣泛應用 濟南防腐蝕流量計廣泛應用于多個領域,尤其是在石油、化工、電力、冶金、制藥和水處理等行業。以石油化工行業為例,流量計用于測量酸性氣體、化學液體及其他有腐蝕性的介質。在這些應用中,防腐蝕流量計的高耐腐蝕性和長期穩定性保證了生產過程的順利進行。 在制藥行業,防腐蝕流量計用于測量精密的化學物質流量,要求流量計不僅具備良好的防腐蝕能力,還需要的測量結果,以確保生產過程中藥品的質量和安全。濟南的防腐蝕流量計制造商通過采用新的制造工藝和材料技術,滿足了這一行業的需求。 總結 濟南的防腐蝕流量計制造技術在國內外市場中占據了重要地位。憑借其的技術優勢和的制造工藝,濟南的防腐蝕流量計能夠應對各類惡劣環境中的流量測量需求。隨著市場對防腐蝕流量計的需求不斷增長,濟南的制造商正不斷推出創新產品,以滿足不同行業的特殊需求。未來,隨著科技的進步和工業自動化水平的提升,濟南的防腐蝕流量計將在更多領域發揮更加重要的作用。
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