- 2025-01-21 09:33:52ICP刻蝕機
- ICP刻蝕機即電感耦合等離子體刻蝕機，利用電感耦合產生的等離子體對材料進行刻蝕。其基本原理是通過高頻電場使氣體電離形成等離子體，等離子體中的離子在電場加速下撞擊材料表面，實現刻蝕目的。ICP刻蝕機廣泛應用于微納加工、半導體制造、光學元件等領域，具有刻蝕速率高、刻蝕精度高、可加工復雜結構等優勢。
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