相位偏折術/相位偏折測量系統產品簡介：

  偏折測量技術（PDM）又稱為相位偏折術或條紋反射法，是一種非接觸式、低成本、高魯棒性且高精度的面形測量技術,絕 對檢測精度可達10-20nm RMS,可以用于平面、球面、非球面、離軸拋物面、自由曲面等面型的高精度檢測。具有測量角度大、非接觸、精度高、速度快等特點。

  上海昊量光電設備有限公司近日推出市面上shou款商業化的共軸偏折術測量系統，具有操作方便，檢測精度高（<15nm RMS）,應用范圍廣等特點。相位偏折測量系統主要由ccd相機 、LCD顯示屏和待測件三個部分組成，系統配置如下圖。LCD顯示屏投射提前生成好的結構光正弦條紋，正弦條紋被待測鏡表面反射后發生畸變，CCD相機采集畸變后的條紋，再利用相位斜率映射關系從畸變的條紋圖中計算出待測鏡梯度信息，再根據基梯度數據的面形重構算法，重建出待測鏡的面形。

圖1 偏折術測試系統

偏折術系統（PMD）產品優勢：

• 檢測精度高：<15nm RMS

• 測量范圍寬：能夠測量平面、球面、非球面、離軸拋物面、自由曲面等；

• 對環境噪聲不敏感：具有非常強的抗環境干擾；

• 系統搭建簡單、性價比高：使用商業化的配件，對成像光路沒有特殊要求。

相位偏折術/相位偏折測量系統測試案例：

圖2 平面鏡（λ/10）檢測

圖3 球面鏡（Thorlabs ,CM508-500-G01）檢測

圖4 離軸拋物面鏡檢測

圖5 ONERA公司TMA自由曲面檢測（右側為LUPHOScan輪廓儀測試結果）

相位偏折術/相位偏折測量系統產品應用：

隨著工業制造業發展，我國在航空航天、高端裝備制造、汽車工業、生物醫學與通信和微電子高科技等領域方面對鏡面和鏡面類等零件需求越來越大，其已經成為了我國在通信行業的關鍵零件之一。制造過程中有一道必要工序就是面形檢測，目前的常用檢測方法存在檢測效率低，檢測精度不滿足要求等問題，隨著上海昊量光電設備有限公司相位偏折測量系統（偏折術）推出，可以有效助力我國的科技項目。