國產手動臺階儀JS10B，擁有高精度、高分解能力，搭配一體花崗巖結構，提供穩定可靠的重復性測量。JS10B提供一個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區，方便定位特征區域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區域。

應用范圍：

▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量

▲ 各式薄膜等應力測量

系統組成

▲ 臺階儀主機

▲ 電腦及顯示器

選配品

▲ 隔振臺

▲ 高度校準標樣

軟件界面

軟件界面

掃描圖

                                                                                                    18nm樣品

                                                                                                   68um樣品