規(guī)格參數(shù)：

1.儀器的基本信息：

儀器名稱：掃描電子顯微鏡
英文名：Scanning Electron Microscope
型號(hào)：Hitachi S-3400N
產(chǎn)地：日本

購(gòu)買時(shí)間：2013年

2.儀器的用途：

Hitachi S—3400N型掃描電子顯微鏡，主要用于對(duì)材料的微觀形貌、組織和成分進(jìn)行有效分析。

3.儀器的性能指標(biāo)：
1）分辨率
二次電子探頭：≤3.0 nm（在30kV，高真空模式)，≤10 nm（在3 kV，高真空模式)；被散射探頭：≤4.0 nm（在30kV，低真空模式)。
2）加速電壓：0.3kV～30kV連續(xù)可調(diào)。
3）放大倍數(shù)：最 低倍率5倍，最 高倍率300,000倍。
4）真空系統(tǒng)
①具有低真空功能，高低真空切換，不需要安裝壓差光闌；
②真空度：高真空不低于0.1 mPa；低真空（壓力范圍）：10 Pa—270 Pa；
5）電子光學(xué)系統(tǒng)
①電子槍：鎢燈絲，具有自動(dòng)偏壓+4級(jí)偏壓功能；
②聚光鏡光闌完全安裝在長(zhǎng)內(nèi)襯管內(nèi)，可自行更換聚光鏡光闌。

6）樣品室和樣品臺(tái)

①樣品臺(tái)尺寸：裝載直徑≥200 mm樣品；
②樣品臺(tái)（五軸樣品臺(tái)，2軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)功能）；
③ 行程：X=100 mm；Y=50 mm；Z=50 mm；R=3600；T=-20～+900；
6）探測(cè)器及成像系統(tǒng)
① 二次電子探測(cè)器：二次電子像；高靈敏5分割背散射電子探測(cè)器：成分像、形貌像和三維像；
②成像模式：同時(shí)得到二次電子像，背散射電子像，兩種圖像混合像；

4.結(jié)果展示：