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徠卡全手動正置材料顯微鏡-Leica DM3 XL

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產品特點

徠卡全手動正置材料顯微鏡-Leica DM3 XL檢驗系統,快速檢測,快速響應。在微電子和半導體的檢驗、過程控制或缺陷和故障分析中,檢測速度快,響應速度快,是微電子和半導體理想的檢驗系統。
突出特點:
? 視場寬敞30%,可快速掃描可達6"樣品組件,DM3 XL檢驗系統憑借大視場能更快地識別缺陷,提高工作效率
? DM3 XL檢驗系統為中等預算用戶提供了更佳選擇

詳細介紹


徠卡全手動正置材料顯微鏡-Leica DM3 XL概述

徠卡全手動正置材料顯微鏡-Leica DM3 XL檢驗系統,快速檢測,快速響應。在微電子和半導體的檢驗、過程控制或缺陷和故障分析中,檢測速度快,響應速度快。視場寬敞30%,可快速掃描6"樣品組件,DM3 XL檢驗系統憑借大視場能更快地識別缺陷,提高工作效率。

材料顯微鏡-Leica DM3 XL.jpg

徠卡全手動正置材料顯微鏡-Leica DM3 XL性能

  • ? 快速檢測,快速響應,視場寬敞30%,DM3 XL檢測系統能有效節省檢驗時間

  • ? 快速掃描 6"的樣品組件,放大倍率0.7X宏觀物鏡即刻采集35.7mm的視場

  • ? 更多細節盡收眼底,常規物鏡看不到的區域在宏觀概覽下無所遁形,可靠檢測晶片邊緣或中 心顯影不足的區域,檢測不均勻的徑向膜厚度

  • ? 適用于所有相襯觀察方法的LED,提供恒定色溫,真彩色成像,始終可看到相同顏色樣品,獲得可復制的結果,LED使用壽命可達35000小時,且低能耗,節約成本

  • ? 特有的光學特性,采用斜射照明檢驗側面、邊緣或碎屑,以簡單有效的方式從不同角度照亮樣品,從而實現各種形貌的可視化。借助深暗場對比檢測樣品較低層中的微小劃痕或小顆粒

  • ? 不同樣品–可變載物臺插件,有種類豐富的載物臺插件供選擇,滿足各種尺寸試樣的檢測需要

  • ? 工作舒適直觀,采用人體工學設計,舒適性好,操作更簡單


徠卡全手動正置材料顯微鏡-Leica DM3 XL技術參數

系統Leica DM3 XL技術參數
顯微鏡支架固定的金屬支架
調焦2檔調焦(粗調/微調,采用1μm測微尺刻度,帶頂部調焦限位裝置)或
3檔調焦(粗調/微調,采用1μm和4μm測微尺刻度,帶頂部調焦限位裝置)
扭矩粗調焦,可調載物臺高度擋塊
載物臺沖程30mm
入射光堅固的入射光軸,帶4位反射鏡轉盤
適用于BF/DF/POL/DIC和FLUO:
?帶斜射照明
?帶彩色編碼光圈輔助(CCDA)
?帶中 心孔徑可變光闌
?帶入射光濾片匣(雙濾片,直徑32mm)
下列光源可適應所有入射光軸:
?LED-燈箱,帶入射光亮度內部顯微鏡空件
?鏡像室106,適用于兩種光源的同步調整
?熒光照明SFL 100、4000和7000
?EL6000、Hg50、Hg100、Xe75
?12V100W鹵素光源(106或107/2系列燈箱),帶獨立變壓器
物鏡轉盤/物鏡5孔 BF/DF M32、6孔 BF M25物鏡轉盤:
?5X、10X、20X高反差平場消色差EPI物鏡
?2.5X-100X平場消色差EPI物鏡
?1.25X-100X平場半復消色差物鏡
?0.7X宏觀50X、100X、150X平場復消色差物鏡
LED照明適用于所有相襯觀察方法的LED
?在所有亮度等級下實現真彩色成像
?自由調節
?無需更換燈泡 – 無停機時間
?可復制的結果
載物臺有種類豐富的載物臺插件供選擇,適合多種類型和尺寸的試樣檢驗:
?載物臺尺寸:150x150mm
?載物臺插件:金屬插件、晶片支座或掩模支座
?快速的粗略或jing準載物臺定位
附件選配放大倍率調節器(1X、1.5X、2X)
選配測量載物臺,適用于X、Y和Z向測量
透射光借助帶光纖的外部冷光源照明
電源穩定的通用電源單元,90-230V


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