分享 收藏

KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列

品牌：北京燕京電子
型號： UV-KUB系列
產地：歐洲法國
供應商報價：面議

北京燕京電子有限公司更新時間：2023-03-06 10:34:29

銷售范圍售全國

入駐年限第6年

營業執照已審核

同類產品PMDS芯片制備系統(8件)

立即掃碼咨詢

聯系方式：400-822-6768

聯系我們時請說明在儀器網（www.189-cn.com）上看到的!

掃碼分享

為您推薦

產品特點

法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經驗，其研發的UV- KUB系列光刻機是一種基于UV LED的曝光機系統，結構緊湊，可以直接放置在實驗臺上，能夠處理zuida直徑4英寸的晶圓，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝，可自動調整掩膜高度以適應不同的基板厚度，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要預熱，也不需要單獨的冷卻單元。另外，UV-KUB系列先進的設計，保證了光源的準直性和均勻性，其zui小分辨率可達2μm，zuida發散角小于2°
本系統適用于市面上常用的光刻膠，如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。

詳細介紹

KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列

圖片

1 550.jpg

簡介

法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經驗，其研發的UV- KUB系列光刻機是一種基于UV LED的曝光機系統，結構緊湊，可以直接放置在實驗臺上，能夠處理最大直徑4英寸的晶圓，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝，可自動調整掩膜高度以適應不同的基板厚度，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要預熱，也不需要單獨的冷卻單元。另外，UV-KUB系列先進的設計，保證了光源的準直性和均勻性，其最小分辨率可達2μm，最大發散角小于2°

本系統適用于市面上常用的光刻膠，如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。

規格參數

項目	UV-KUB 2	UV-KUB 3
最小分辨率	2 μm	2 μm
光源波長	365 nm / 385 nm / 405 nm	365 nm
能量密度	25 mW / cm2 ± 10 %	30 mW / cm2 ± 10 %
熱效應最大升溫	< 1°C	< 1°C
曝光時間	1s~18 hours	1s~18 hours
最大存儲程序數量	10個	無限制
對準分辨率	/	< 3 μm
外形尺寸	260 x 260 x 260 mm3	480 x 480 x 480 mm3
重量	8.2 kg	55 kg
顯示屏	彩色觸摸屏5.7 inches	彩色觸摸屏15.6 inches