典型應用

微光學

半導體光刻

TYPICAL APPLICATIONS
Micro-Optics
Semiconductor lithography
Development mask work

威思曼高壓電源HTEM高壓電源主要用于精密電子束應用如半導體納米光刻，微光學。它的超低紋波和穩定性使其非常適合使用于這些苛刻的應用。固體封裝的高電壓部分消除任何用戶的維修問題，全數字化控制，過壓、過流、拉弧保護。

輸入電壓：
單相220VAC，±10％，50/60HZ
輸出電壓：0-100KV，負極性。 EXTER應受開關可選
到105kV，±500伏特
輸出電流：
0 -10μA，低范圍
0-100μA，高范圍
開關可選
線性調整率：指定的輸入額定電壓的±0.001％，電壓范圍
負載調整率：≤20V為25μA至60μA的電流變化和60μA至25μA
紋波：
≤75mV峰峰值
局部高壓放電：大于200mV以下
穩定性：0.001％，每8小時后，6小時的戰爭m，最高，為溫度為20°C±0.2 °C，
溫度系數：
每攝氏度50ppm，超過10°C至40°C范圍內
環境：
工作溫度：0到40攝氏度
存儲溫度：-40至85攝氏度
濕度：10％到90％RH，非冷凝
冷卻方式：
強制通風控制機箱;
對流冷卻高壓機箱

有關威思曼及其更多高壓產品的信息，請致電 086-029-33693480或訪問其網站：www.wismanhv.com

威思曼高壓電源有限公司是世界具有領導地位直流高壓電源和一體化X射線源供應商，同時提供標準化產品和定制設計服務。產品廣泛應用于醫療,工業,半導體,安全,分析儀器，實驗室以及海底光纖等設備。集設計，生產和服務為一體的工廠分布于美國，英國，及ZG等地，并且我們銷售中心遍布于歐洲，北美洲以及亞洲，我們將竭誠為您服務!