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微米膜厚測量儀 C11011-01W

面議 (具體成交價以合同協(xié)議為準)
日本濱松 C11011-01W 亞洲 日本 2025-08-11 18:03:37
售全國 入駐:10年 等級:銀牌 營業(yè)執(zhí)照已審核
同款產(chǎn)品:膜厚測量系統(tǒng)(12件)
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產(chǎn)品特點:


C11011-01W型光學微米膜厚測量儀利用激光相干度量學原理,測量速度達60Hz,適用于產(chǎn)品線上在線測量。此外,與Mapping工作臺聯(lián)用可以測量指定樣品的厚度分布。C11011-01W應用廣泛,比如用于產(chǎn)品制造過程監(jiān)控或質量控制。


C11011-01W測量玻璃膜厚范圍分別為25 μm 到 2900 μm 和10 μm 到1200 μm。


產(chǎn)品詳情:

詳細參數(shù)
型號 C11011-01W
可測膜厚范圍(玻璃) 25 μm to 2900 μm*1
光源 Infrared LD (1300 nm)
光斑尺寸 Approx. φ60 μm*4
工作距離 155 mm*4
可測層數(shù) 1-layer
分析 Peak detection
測量時間 22.2 ms/point*5
外部控制功能 RS-232C, PIPE
電源 AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗 Approx. 50 VA
接口 USB 2.0 (Main unit - Computer)
可測膜厚范圍(硅) 10 μm to 1200 μm*2
測量可重復性(硅) 100 nm*3
測量準確度(硅) < 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3

*1:與玻璃折射率相同

*2:與硅折射率相同

*3:測量硅時的標準偏差

*4:可選配1000mm工作距離的模型C11011-01WL

*5:最短曝光時間

產(chǎn)品特性

● 利用紅外光度測定進行非透明樣品測量


● 測量膜厚范圍(玻璃):25μm-2900μm


● 測量速度高達60 Hz


● 可測量層數(shù):1層


● 測量帶圖紋晶圓或者帶保護膜的晶圓


● 工作距離長


● 作圖功能


● 可外部控制

外形尺寸(單位:mm)


技術資料

  • 微米膜厚測量儀 C11011-01W產(chǎn)品樣冊
    C11011-01W型光學微米膜厚測量儀利用激光相干度量學原理,測量速度達60Hz,適用于產(chǎn)品線上在線測量。此外,與Mapping工作臺聯(lián)用可以測量指定樣品的厚度分布。C11011-01W應用廣泛,比如用于產(chǎn)品制造過程監(jiān)控或質量控制。C11011-01W測量玻璃膜厚范圍分別為25 μm 到 2900 μm 和10 μm 到1200 μm。

    上傳人:濱松光子學商貿(中國)有限公司

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