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四探針測試儀 四探針檢測儀 四探針測定儀

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詳細介紹

1:四探針測試儀 四探針檢測儀 四探針測定儀/四探針電阻率測定儀 型號:HARTS-8

HARTS-8型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的,專用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成,測量數據既可由主機直接顯示,亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析,然后以表格,圖形方式統計分析顯示測試結果。
儀器采用了zuixin電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試。

技 術 指 標 :

測量范圍
電阻率:10-5~105 Ω.cm(可擴展);
方塊電阻:10-4~106 Ω/□(可擴展);
電導率:10-5~105 s/cm
電阻:10-5~105 Ω;
可測晶片直徑
140mmX150mm(配S-2A型測試臺);
200mmX200mm(配S-2B型測試臺);
400mmX500mm(配S-2C型測試臺);
恒流源
電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔,各檔電流連續可調
數字電壓表
量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
顯示:四位半紅色發光管數字顯示;極性、超量程自動顯示;
四探針探頭基本指標
間距:1±0.01mm;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ;
機械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);
四探針探頭應用參數
(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行)
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機測量最大相對誤差
(用硅標樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度
≤5%
計算機通訊接口
并口,高速并行采集數據,連接電腦使用時采集數據到電腦的時間只需要1.5 秒(在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時)。連接電腦使用時帶自動測量功 能,自動選擇適合樣品測試電流量程;
標準使用環境
溫度:23±2℃;
相對濕度:≤65%;
無高頻干擾;
無強光直射

配置 四探針測試儀主機、探針臺、四探針探頭、







2:多種氣體采樣器/多種氣體取樣器/多種氣體出樣器(100ml) 型號:HAD/CZY-100

產品介紹:

主要用于檢查空氣中各種氣體的含量。配合氣體檢測管使用。

配套使用檢測管的方法及優勢:

1、用砂片稍用力將檢測管兩端各劃一圈割印。
2、用硅膠管套套住檢測管上的箭頭所指一端,沿切割印掰斷,用同樣方法掰斷另一端。
3、用硅膠管套套住檢測管上的箭頭所指一端(防止漏氣),插入所要檢測標注的氣體通道口上(稍用力插緊)。注意方向性,箭頭方向代表氣體流過方向。
4、將所需檢測的若干項的檢測管,按以上方法均插好之后,接通電源,即可正常使用。
5、調節所需檢測氣體對應的時間控制器,使其符合技術指標(見附表)。
6、檢測結束,拔出檢測管。
7、手持檢測管箭頭朝下,并垂直于地面放在與目光基本不平的位置,觀察管上顏色變化所指刻度,既為被檢測氣體的濃度。

(1)雙重優點:測量氣體的檢測管實際是將化學分析方法儀器化,是一種定量、定性、定值的檢測方式,具有化學分析和儀器分析的雙重優點。
(2)適應性好:檢測管現有Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ三種,從零點到幾個PPM(10-6)到百分之幾十,適用范圍很大,為分析工作提供了很大方便。
(3)操作簡便:為專業檢驗人員提供了很大的方便,操作人員按照使用說明書操作方法進行測試即可。
(4)使用安全:使用時手動操作,無需要電源、熱源,在有易燃易爆氣體存在的場所能安全使用。
(5)分析速度快:由于操作方便,使得每一次分析所需時間大為縮短,一般僅需十幾分鐘即可得知結果,其分析速度是任何化學分析和儀器方法不能比擬的。
(6)測量精度高:在檢測管含量標度的確定上模擬了現場分析條件,采用不同標準氣標定,克服了化學分析中易帶入的方法誤差。同時減少了人為誤差。





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