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德國Diener PECVD等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備
- 品牌：Diener
- 型號： TETRA240
- 產(chǎn)地：歐洲 德國
- 供應(yīng)商報價：面議
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上海爾迪儀器科技有限公司
更新時間：2025-08-08 09:26:12 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品PECVD沉積系統(tǒng)(1件)
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詳細(xì)介紹
該P(yáng)ECVD系統(tǒng)可以沉積高質(zhì)量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、類金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等。
主要技術(shù)參數(shù)：
PC控制軟件
RF發(fā)生器 0~3000W 脈沖模式
腔體防腐處理，400*400*1500mm,240L
腔體加熱80℃
帶觀察窗
多路工藝氣體通道，MFC控制 防腐處理
HMDSO單體通道
易燃易爆氣體安全閥
Gas Shower氣浴電極
設(shè)備外尺寸2000*600*1700mm
進(jìn)口真空泵組
電壓 3項400V
技術(shù)文章
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