ContourGT-I 三維光學顯微鏡
全球首chuang的掃描頭傾斜自動樣品臺桌面型測量系統
ContourGT-I 三維光學顯微鏡集三十年表面測量之大成,將創新與工業界合作的經驗集合到一臺桌面型系統上,實現面向生產自動化需要,測量角度靈活,的成像質量,和已經驗證的可定標的穩定測試性能。通過布魯克獨有的掃描頭傾斜技術,該系統可解決傾斜樣品臺測試時引起的樣品位置變化,從而輕松實現在一定角度內自動傾斜對表面特征進行測量。zuixin一代的Vision64 軟件結合改進的樣品臺設計進一步提高了使用的方便性,更有效地提高用戶的測試效率。ContourGT-I 可立刻測試各種樣品,在桌面型系統上實現了以往從未有過的各種特性。
實現更快,更簡便測量
? 自動光學傾斜測量頭
? 全自動X,Y, Z樣品臺
? 自動光鏡轉塔,放大鏡,和測試光選擇
更靈活而穩定的防震
? 集成式充氣式防震臺
? 高穩定度,空間節省
更強大的測量和分析
? 簡單明了,人性化的工作流程
? 實時自動優化測量
? 完整的數據分析軟件包
? 可定制的分析報告
測量高效
布魯克獨有的傾斜測量頭為用戶提供了極大的靈活性,實現快速測量和觀察。通過在在顯微鏡頭中結合頭部傾斜功能,布魯克這一技術實現了將觀察位置始終保持在焦平面處,為用戶實際使用時帶來了很大便利。
準確追蹤和使用的簡便性對于在不同表面上快速檢測是至關重要的,這樣在批量測試時速度也大大提高。
臺階高度準確性
這一特點結合樣品臺與物鏡的電動控制使得Contour GT-I 成為了具有較小占地卻能同時滿足多種測試要求的測量平臺。
業界最方便靈活的測量方式
除上述優點外,ContourGT-I通過獨有的設計直接在機臺上集成防震系統,使其直接滿足各種環境條件,包括工廠,實現迅速準確地測量。
這一經過嚴格測試的防震系統為用戶提供不折不扣
的優化測試條件,從而得到重復性的定量數據。
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布魯克納米表面儀器部 Bruker Nano Surfaces
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晶圓幾何形貌測量及參數自動檢測機使用高精度高速光譜共焦雙探頭對射傳感器實現晶圓的非接觸式測量,結合高精度運動模組及晶圓機械手可實現晶圓形貌的亞微米級精度的測量,該系統適用于晶圓多種材質的晶圓,包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;
晶圓幾何形貌及參數自動檢測機PLS- F1000/ F1002 是一款專門測量晶圓厚度、TTV, Bow, Warp, TIR, Sori, Sag, LTV等參數的自動晶圓形貌檢測及分選機。
晶圓幾何形貌及參數紅外干涉自動檢測機使用高精度高速紅外干涉點傳感器實現晶圓的非接觸式測量,結合高精度運動模組及晶圓機械手可實現晶圓形貌的亞微米級精度的測量,該系統適用于晶圓多種材質的晶圓,包括藍寶石、GaAs、GaN、SiC 以及 Si 等;可以實現的尺寸與結構測量內容包括: 包括 TTV, Bow, Warp, Thickness , TIR, Sag, LTV(Fullmap 測試)。
專為測量旋轉對稱樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設計,如金剛石車削光學表面和模塑或拋光的非球面透鏡
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