Hiden IG20 Ar/O2離子槍（Ion Gun），先進的離子槍，配合SIMS進行材料表面和深度的分析。

功能特點

靜態、動態SIMS
俄歇電子譜
離子束濺射
表面科學研究
光柵/ 深度分析

具有100μm光斑直徑的、0.5～5 keV能量的強離子束
高電流密度4.5 mA/cm2
電子轟擊離子源具有氬和氧離子能力
掃描線散射和離子束光柵的光學調整功能，用于深度分析
離子槍的3°偏移量，用于中性粒子的**排斥
在光柵應用中，束消隱裝置可以快速進行束的轉換
差式泵源減少室內氣體
便于更換的雙燈絲
掃描速度可低至64μs
與SIM 和EQS 探針一起，可以直接進行光柵速率/區域控制

技術參數

能量范圍： 500eV ~ 5KeV

最大電流： 800nA

最小光斑尺寸： 50μm

離子源壽命： ＞1000小時

法蘭規格： 斜楔法蘭DN-35-CF

氣源壓力： 0.1~0.5bar至一個大氣壓

?