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光刻膠SU-8 2000

面議 (具體成交價以合同協議為準)
美國MicroChem 2035/2050/2075/2100 美洲 其它 2025-08-17 15:29:17
售全國 入駐:8年 等級:認證 營業執照已審核
同款產品:光學凝膠(6件)
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核心參數

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產品特點:

SU-8 2000是一種高對比度,基于環氧的光致抗蝕劑,設計用于微加工和其他微電子應用,需要厚,化學和熱穩定的圖像。 SU-8 2000是SU-8的改進配方,多年來已被MEMS生產商廣泛使用。使用更快干燥,極性更大的溶劑系統可改善涂層質量并提高工藝產量。

產品詳情:

SU-8 2000光刻膠通常用常規的UV(350-400 nm)輻射曝光,盡管建議使用i-line(365 nm)波長。 SU-8 2000也可能會受到電子束或X射線輻射的照射。 曝光后,交聯在兩個步驟中進行(1)在曝光步驟中形成強酸,然后(2)在曝光后烘烤(PEB)步驟中進行酸催化的熱驅動環氧交聯。 正常過程是:旋涂,軟烤,曝光,PEB,然后顯影。

SU-8 2000功能

?高縱橫比成像

?單層涂膜厚度為0.5至> 200mm

?改善涂層性能

?更快干燥以提高產量

?近紫外線(350-400 nm)處理

?垂直側壁

硬烤(固化)

SU-8 2000具有良好的機械性能。但是,對于要保留成像的抗蝕劑作為設備一部分的應用,可以將硬烘烤結合到該過程中。通常僅在設備或零件在正常運行期間要進行熱處理時才需要這樣做。添加了硬烘烤或固化步驟,以確保SU-8 2000的性能在實際使用中不會改變。 SU-8 2000是一種熱敏樹脂,因此暴露于比以前高的溫度下,其性能會不斷變化。我們建議使用的烘烤溫度要比設備的預期工作溫度高10°C。根據所需的固化程度,通常使用的烘烤溫度范圍為150°C至250°C,烘烤時間為5至30分鐘。注意:硬烘烤步驟還可用于對顯影后可能出現的任何表面裂紋進行退火。建議的步驟是在150°C下烘烤幾分鐘。這適用于所有膜厚度


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