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Nano-master 離子束刻蝕濺射鍍膜一體機 NOC-4000

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產品特點

Nano-master 離子束刻蝕濺射鍍膜一體機 NOC-4000,提供zuixian極n的原子級清洗、拋光以及光學鍍膜技術。

詳細介紹


Nano-master 離子束刻蝕濺射鍍膜一體機 NOC-4000
 
NANO-MASTER 的 NOC 系列光學鍍膜系統提供zuixianjin的原子級清洗、拋光以及光學鍍膜技術。
 
光學樣片放置于一個腔體種進行原子級清洗和拋光處理,之后自動傳送到第二個腔體中進行光學鍍膜,這個過程無需間斷真空。系統也可以獨立使用其中的一個腔體,每一個都可以實現各自的自動上/下載片功能。 
 
緊湊型設計,占地面積僅為 46”x44”,不銹鋼立柜。
 
工藝過程通過觸摸屏 PC 和 LabView 軟件,可實現全自動的 PC控制,具有高度的可重復性,且具有友好的用戶界面。
系統具有完整的安全聯鎖,提供四級密碼授權訪問保護,含:
   
? 操作者權限:運行程序
? 工藝師權限:添加/編輯和刪除程序
? 工程師權限:可獨立控制子系統,并開發程序
? 服務權限:NM 工程師故障診斷和排除
 
真空系統包含渦輪分子泵和機械泵,極限真空可達到 5 x10-7Torr。渦輪分子泵與腔體之間的直連設計,系統可獲得**的真空傳導率,基本可以達到 15 分鐘可達到工藝真空,8 小時達到腔體極限真空。腔體壓力調節通過 PC 自動控制渦輪速度而全自動調節,快速穩定。 
 
在第一個腔體中通過離子束可達到原子級的清洗,離子源安裝在腔體頂部,離子源配套 2KV,300mA 的電源。樣品臺配套 4”或 6”基片夾具、水冷,并可對著離子束流實現+900C 到-900C 旋轉。系統配套氣動遮板,使得工藝運行前穩定離子束流。 
 
根據應用需要可以升級離子源,以支持更大尺寸晶圓片的處理。
 
第二個腔體可以根據應用需要配套 ALD、PECVD、磁控、電子束蒸鍍、熱蒸鍍等鍍膜。 
 
膜厚監控儀校準后可實現原位膜厚測量,可以工藝時間或工藝膜厚為工藝終點條件,系統支持設定目標膜厚,當達到設定的目標膜厚時全自動結束工藝。水冷保護晶振夾具,膜厚和沉積速率以及晶振壽命可顯示,可存儲高達 100 個膜厚數據。 
 
系統的兩個腔體均配套單片的 Auto L/UL,可實現自動進樣、對準、出樣,在不間斷工藝真空情況下連續處理樣片。Load Lock腔體帶獨立真空系統和真空計,通過 PC 全自動監控。兩個腔體之間可以互相傳送樣片。整個過程計算機全自動控制。 
 
 
應用:
? 光學鍍膜
? Sputterint 濺射
? IBAD 離子束輔助沉積
? 離子束刻蝕清洗
? 離子束輔助反應性刻蝕
? 紅外鍍膜
? 表面處理
 
 
設備特點:
? RF 射頻偏壓樣品臺
? 膜厚原位監測
? 極限真空 5 x 10-7Torr
? **的真空傳導率設計,具有快速真空能力
? PC 全自動控制,超高的精度及可重復性
? 高質量薄層
? 原子級的超凈表面
? 原子級清洗和拋光
? LabView 軟件的 PC 控制系統
? 自動上/下載片
? 兩個腔體可以分別獨立使用并實現自動上下載片
? 兩腔體之間自動傳送,雙向傳送支持
? 菜單驅動,密碼保護
? 安全互鎖
? 占地面積 46”D x 44”W
 
 
系統可選:
? 向下/向上濺射
? 共濺射
? DC, RF 以及脈沖電源
? 離子束輔助沉積
? 電子束源
? 熱蒸鍍
? 等離子源
? ALD 沉積或 PECVD 沉積
 
 
 
 


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