產品介紹
株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創立的公司，也是日本第一家發表光學干杠桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為代表性單位且在日本精密測定業占有一席無法被取代的地位。ET4000系列中，有ET4000A(多動能、自動化、可添加一款3D軟件，掃出測量表面的3D形貌) ，ET4000L(完全自動化的,針對體積較大的樣品可與大型精密貴重玻璃或晶片尺寸樣品) ，ET4000M(Y軸方向手動移動、性價比高、易于使用) ，常用的是ET4000A。ET4000系列具有良好的穩定性、高精度和強大的功能。在平板顯示器FPD，晶片，硬盤和其他納米尺度上的應用廣泛。

主要特點：
（1）的臺階再現性與線性度。
（2）超高真直度，可確保量測圖形不受任何影響，并可在真直度的保證下進行長距離測量。
（3）采用超低噪音直動式 LVDT，超低測定力的觸針可任意調節。
（4）配備高分辨率的 CCD 即時進行高精度定位測量。
（5）可對應各種國際規范，測定參數多達 60 多種。
（6）適用于各種與納米材料有關的MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。

技術參數
一、測定工件：
1. 最大工件尺寸 210 × 210 mm to 300 × 400 mm
2. 最大工件厚度 50mm
3. 最大工件重量 2kg
二、檢出器（pick up）：
1. Z 方向測定范圍 Max. 100μm
2. Z 方向分解能 0.1nm
3. 測定力 0.5 μN to 500 μN
4. 觸針半徑 0.5 , 2 μm
5. 驅動方式 直動式
三、X 軸 (基準軸)：
1. 移動量(最大測長) 100mm
2. 移動的真直度 0.005μm/5mm
3. 測定速度 0.005 ~ 2mm/S
4. 位置定位時速度 Max. 10mm/S
5. 線性尺(linar scale) 分解能 0.01μm
6. 位置定位再現性 ± 5μm
7. 滑軌 材質為在鑄鐵(CD-5)上,鍍上硬質 Cr,無潤滑(于移動臺側,使用鐵弗龍折動材料)
8. 驅動 DC motor + Dynamic belt
四、Y 軸(位置決定用)：
1. 移動量 52mm
2. 移動速度 max.3mm/S
3. 滑軌 Crose roller 滑軌
4. 驅動 DC motor + 滾珠螺桿(P=2mm)
5. 檢出器自動停止機能
五、工件臺：
1. 工件臺尺寸 210mm×210mm
2. 自動傾斜量 X: ± 1mm/150mm Y: ± 1mm/186mm
3. 分解能 0.25μm
4. 驅動 pulse motor
六、全自動量測功能
七、工件觀察 max. 80倍(可選購其它高倍率 CCD)
八、床臺 材質為花崗巖石
九、段差測定再現性 1δ, 5A°以內
十、防振臺(選購) 落地型或桌上型
十一、電源 AC100V±10%,50/60HZ,800VA
十二、本體外觀尺寸 W660×D580×H660mm(不含防震臺)