XENOS高精度測量機

XENOS可在各類要求高測量精度的領域使用——從科研機構的測量實驗室、航空和航天工業直至光學工業。這一高端測量機的測量精度達到技術極限，其測量范圍近1立方米。

創新的機械設計

XENOS采用了全新的機械設計理念。與標準橋式測量機不同：Y導軌分布于側壁頂部，分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速的wan美統一。

所有軸均采用線性驅動

XENOS的所有軸均采用線性驅動。其優點：高速、加速極快、定位精度高、驅動無剪切力影響。結合超高分辨率光柵尺技術，XENOS的線性驅動可獲得高度穩定性及低于100納米的極高定位精度。例如，測針偏移量越恒定，即可獲得更佳的測量精度。于測量曲面時更顯見另一優勢：測針的移動路徑與預定值越吻合，即可實現越出色的jing準性。

虛擬ZY驅動

XENOS于Y軸向配備雙線性驅動系統，得益于蔡司的ZY驅動技術可實現優異的同步控制。該技術可據X軸位置wan美分布驅動力。作為控制系統及算法之wan美結合，這是在整個測量范圍內獲得優異的測量精度及運動穩定性的關鍵因素。

碳化硅陶瓷

XENOS在與精度密切相關的機器部件上采用創新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止，該材料從未在類似產品或精度的測量機器上得到使用。與常規陶瓷相比，碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%，而剛性則可提升30%，同時減重20%。與鋼材相比，碳化硅陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。

加強型VAST gold

XENOS采用蔡司VAST gold測量探頭。在研發過程中，蔡司在測量精度和測量重復度方面對該探頭進行了優化。XENOS也采用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與長度可達800毫米的測針以及重量高達500克的測針配套使用，包括非對稱型測針。

優化的氣浮軸承

全新強化處理氣浮軸承具有優異的穩定性及測量精度。

改進的電子設計

通過全新的電子設計，移動線纜對精度影響顯著降低。計算機輔助精度修正（CAA）法和特殊附加CAA修正技術在獲得高測量精度的過程中扮演著日趨重要的作用。

長度測量誤差E0

0.3 + L/1,000 μm

測量范圍